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龙图腾网获悉东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司申请的专利一种电子束检测设备的连续扫描系统及电子束检测设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224152389U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-21发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520890477.5，技术领域涉及：G01N23/2251；该实用新型一种电子束检测设备的连续扫描系统及电子束检测设备是由邢举;杨延德;韩春营;薛磊;刘成成;刘家欣设计研发完成，并于2025-05-07向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种电子束检测设备的连续扫描系统及电子束检测设备在说明书摘要公布了：本实用新型涉及半导体制造与检测领域，特别是涉及一种电子束检测设备的连续扫描系统及电子束检测设备。该连续扫描系统包括：工件台，用于承载并带动待检测件移动；激光尺定位装置，用于输出指示工件台位置的位置信号；工件台驱动器，用于在工件台移动到待扫描区域的起始位置时输出开始扫描信号并在工件台移动到待扫描区域的结束位置时输出结束扫描信号；以及扫描电子显微镜，配置成在接收到开始扫描信号时开始扫描待检测件的表面，并在接收到结束扫描信号时结束扫描，以生成待检测件的扫描图像。本实用新型的连续扫描系统通过同步触发移动和扫描的开始和结束，提高了扫描与移动的同步性，避免了扫描区域错位的问题，从而提高了扫描准确性。

本实用新型一种电子束检测设备的连续扫描系统及电子束检测设备在权利要求书中公布了：1.一种电子束检测设备的连续扫描系统，其特征在于，包括： 工件台，用于承载待检测件并带动所述待检测件移动； 激光尺定位装置，具有位置信号输出接口，所述位置信号输出接口用于输出指示所述工件台位置的位置信号； 工件台驱动器，具有位置信号输入接口和数字量信号输出接口，所述位置信号输入接口与所述位置信号输出接口连接并用于接收所述位置信号，并且所述数字量信号输出接口用于在所述工件台移动到待扫描区域的起始位置时输出开始扫描信号并在所述工件台移动到所述待扫描区域的结束位置时输出结束扫描信号；以及 扫描电子显微镜，具有数字量信号输入接口，所述数字量信号输入接口与所述数字量信号输出接口连接并用于接收所述开始扫描信号和所述结束扫描信号，并且所述扫描电子显微镜配置成在接收到所述开始扫描信号时开始扫描所述待检测件的表面，并在接收到所述结束扫描信号时结束扫描，以生成所述待检测件的扫描图像。

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