上海果纳半导体技术有限公司毕迪获国家专利权
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龙图腾网获悉上海果纳半导体技术有限公司申请的专利一种半导体设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114242631B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010483703.X，技术领域涉及：H10P72/30；该发明授权一种半导体设备是由毕迪设计研发完成，并于2020-06-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体设备在说明书摘要公布了：本发明提供了一种半导体设备，包括：半导体设备前端模块，真空传送装置，以及至少一个反应腔体；所述半导体设备前端模块堆叠设置于真空传送装置的上方并形成在垂直方向上的晶圆输送通道，且真空传送装置横向连接所述反应腔体。在本发明中，将半导体设备前端模块、真空传送装置及反应腔体采用堆叠组装方式，降低了包含该半导体设备前端模块的半导体设备在洁净室中的占地面积，有效地降低了OHT放下或者提升抓取晶圆盒的运动行程，提高了晶圆盒的周转效率，并能够有效地防止出现意外风险。
本发明授权一种半导体设备在权利要求书中公布了：1.一种半导体设备，其特征在于，包括： 半导体设备前端模块，真空传送装置，以及至少一个反应腔体； 所述半导体设备前端模块堆叠设置于真空传送装置的上方并形成在垂直方向上的晶圆输送通道，所述反应腔体与所述真空传送装置的侧面相连接； 所述半导体设备前端模块正面设置至少一个正向载入端及正向片库接口； 所述半导体设备前端模块还包括框架，所述框架侧部形成直线导轨，所述导轨连接有升降平台，所述升降平台可在垂直方向上的晶圆输送通道中上下运动，以通过所述升降平台将晶圆向下输送至真空传送装置执行真空-常压转换； 还包括设置于半导体设备前端模块侧部的至少一个侧向载入端及侧向片库接口，所述侧向载入端与正向载入端在垂直方向上位于同一高度； 其中，至少一个侧向载入端作为缓存端口。
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