买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉南通康成电子科技有限公司申请的专利一种单晶硅生产用硅片清洗装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116895550B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211472753.3，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权一种单晶硅生产用硅片清洗装置是由王波;陶小鸥设计研发完成，并于2022-11-23向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种单晶硅生产用硅片清洗装置在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体制造技术领域，具体涉及一种单晶硅生产用硅片清洗装置，包括硅片花篮、夹持机构、移动组件和滑动杆，夹持机构设置在硅片花篮内，夹持机构包括第一夹持组件、第二夹持组件……第N夹持组件，相邻夹持组件之间用于夹持硅片；移动组件包括第一导向板和第二导向板，第一导向板和第二导向板均能够滑动地设置在硅片花篮内，第一导向板上设置有第一轨道，第二导向板上设置有第二轨道；滑动杆能够滑动地设置在硅片花篮内，滑动杆设置在第一导向板和第二导向板之间；滑动杆沿着第一轨道和第二轨道运动时用以清洗硅片。通过设置第一导向板、第二导向板和滑动杆，使得硅片被夹持部分间歇漏出，从而使得硅片被夹持部分能够被清洗。

本发明授权一种单晶硅生产用硅片清洗装置在权利要求书中公布了：1.一种单晶硅生产用硅片清洗装置，其特征在于，包括： 硅片花篮； 夹持机构，设置在所述硅片花篮内，所述夹持机构包括第一夹持组件、第二夹持组件……第N夹持组件，相邻夹持组件之间用于夹持硅片； 移动组件，所述移动组件包括第一导向板和第二导向板，所述第一导向板和所述第二导向板均能够滑动地设置在所述硅片花篮内，所述第一导向板上设置有第一轨道，所述第二导向板上设置有第二轨道； 滑动杆，能够滑动地设置在所述硅片花篮内，所述滑动杆设置在所述第一导向板和所述第二导向板之间； 所述滑动杆沿着所述第一轨道和所述第二轨道运动时用以清洗硅片； 所述移动组件还包括第一连接轴和第二连接轴，在第一轨道上，沿竖直方向从上至下依次设置有第四导向面、第三导向面、第二导向面、第一导向面、第五导向面、第六导向面、第七导向面、第八导向面；所述第一连接轴的轴线垂直于第一导向板且第一连接轴位于第一导向板的中部，所述第一连接轴的数量为两根，两根第一连接轴均与第一导向板为固定连接且两根第一连接轴关于第一导向板对称设置；所述第一连接轴上设置有垂直于第一连接轴轴线的第一拨杆和第二拨杆，所述第一拨杆和第二拨杆之间具有设定距离，所述第一拨杆和第二拨杆的数量为多组；在两根第一连接轴之间设置有两个通孔且两个通孔关于第一导向板对称设置，两个通孔之间具有设定距离；所述第二轨道为第一轨道旋转180度得到；在第二轨道上，沿竖直方向从上至下依次设置有第八导向面、第七导向面、第六导向面、第五导向面、第一导向面、第二导向面、第三导向面、第四导向面；所述第二连接轴的轴线垂直于第二导向板且第二连接轴位于第二导向板的中部，所述第二连接轴的数量为两根，两根第二连接轴均与第二导向板为固定连接且两根第二连接轴关于第二导向板对称设置；所述第二连接轴上设置有垂直于第二连接轴轴线的第三拨杆和第四拨杆，所述第三拨杆和第四拨杆之间具有设定距离，所述第三拨杆和第四拨杆的数量为多组。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人南通康成电子科技有限公司，其通讯地址为：226500 江苏省南通市如皋市如城街道兴园路8号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。