上海车仪田科技有限公司丁亮亮获国家专利权
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龙图腾网获悉上海车仪田科技有限公司申请的专利光学传感器、光谱检测系统及半导体工艺设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121612864B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202610139520.3，技术领域涉及：G01N21/71；该发明授权光学传感器、光谱检测系统及半导体工艺设备是由丁亮亮;唐凯设计研发完成，并于2026-02-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本光学传感器、光谱检测系统及半导体工艺设备在说明书摘要公布了：本申请涉及一种光学传感器、光谱检测系统及半导体工艺设备，该传感器包括：自等离子体腔，包括腔室、置于腔室外的线圈，腔室的相对两个侧壁上连通设有供被测气体流通的进气管和出气管，腔室的侧壁上还设有检测口，且检测口与进气管、出气管均位于不同侧壁上，线圈用于与射频电源相连，以对腔室中的被测气体形成等离子体并产生辉光放电；检测管，检测管的一端与腔室相连且与检测口相通，检测管的另一端封闭且设有透光的检测窗，检测管内设有连通两端的阶梯通道且阶梯通道的内径由一端向另一端侧减小。本申请可与半导体设备的排气管连通，及时响应于半导体工艺设备内的反应变化，减少测试延迟，提高测量结果的实时性和准确性。
本发明授权光学传感器、光谱检测系统及半导体工艺设备在权利要求书中公布了：1.一种光学传感器，包括： 自等离子体腔，包括腔室、置于腔室外的线圈，所述腔室的相对两个侧壁上连通设有供被测气体流通的进气管和出气管，所述腔室的侧壁上还设有检测口，且检测口与所述进气管、出气管均位于不同侧壁上，所述线圈用于与射频电源相连，以对所述腔室中的被测气体形成等离子体并产生辉光放电，且所述腔室内设有将辉光放电导向所述检测口处的反射镜，腔室的内壁面具有反射涂层； 检测管，所述检测管的一端与所述腔室相连且与所述检测口相通，所述检测管的另一端封闭且设有透光的检测窗，所述检测管具有一定长度且检测管内设有连通两端的阶梯通道且阶梯通道的内径由一端向另一端侧减小，以减缓被测气体从检测口进入检测管的流速，使得被测气体中的金属离子在到达所述检测窗前沉积在所述检测管靠近检测口侧的管壁上。
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