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龙图腾网获悉日本电产理德股份有限公司申请的专利基板检查装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115335712B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180024725.2，技术领域涉及：G01R31/28；该发明授权基板检查装置是由松川俊英;伊砂隆志设计研发完成，并于2021-03-25向国家知识产权局提交的专利申请。

本基板检查装置在说明书摘要公布了：基板检查装置包括：旋转平台，具有载置面；旋转平台支撑部；吸附机构，具有抽吸装置以及一端侧连接于抽吸装置且另一端侧位于载置面的抽吸路，通过抽吸装置来对抽吸路内的气体进行抽吸，由此，将电路基板吸附于载置面；流量检测部，对在抽吸路中流至位于旋转平台支撑部内的部分的气体的流量进行检测；流量判定部，判定由流量检测部所检测出的气体的流量是否为规定值以上；非接触检测部，非接触地检测载置面上的电路基板的配置状态；以及检查部，根据流量判定部及非接触检测部得出的检测结果来进行电路基板的检查。

本发明授权基板检查装置在权利要求书中公布了：1.一种基板检查装置，用于检查电路基板，其特征在于，所述基板检查装置包括： 旋转平台，具有能以吸附的状态来载置所述电路基板的载置面，且在平面观察所述载置面时，能以旋转轴线为中心进行旋转； 旋转平台支撑部，能够旋转地支撑所述旋转平台； 吸附机构，具有抽吸装置以及一端侧连接于所述抽吸装置且另一端侧位于所述载置面的抽吸路，通过所述抽吸装置来抽吸所述抽吸路内的气体，由此将载置于所述载置面上的所述电路基板吸附于所述载置面； 流量检测部，对在所述抽吸路中流至位于所述旋转平台支撑部内的部分的气体的流量进行检测； 流量判定部，判定由所述流量检测部所检测出的气体的流量是否为规定值以上； 非接触检测部，非接触地检测所述载置面上的所述电路基板的配置状态；以及 检查部，根据所述流量判定部及所述非接触检测部得出的检测结果来进行所述电路基板的检查， 所述抽吸路具有： 位于所述载置面中央的中央气体配管；以及 比所述中央气体配管位于径方向另一端侧的外周气体配管， 所述中央气体配管及所述外周气体配管贯穿连接部，所述连接部能够旋转地连接所述旋转平台支撑部与所述旋转平台， 所述流量检测部对流经所述中央气体配管中的位于所述旋转平台支撑部内的部分的气体的流量进行检测。

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