江苏南大光电材料股份有限公司徐涛获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏南大光电材料股份有限公司申请的专利用于氧化镓外延的集气环及用于氧化镓外延的MOCVD设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115467019B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211255458.2，技术领域涉及：C30B25/14；该发明授权用于氧化镓外延的集气环及用于氧化镓外延的MOCVD设备是由徐涛;李娇;柳元昊;王萍;陈芳设计研发完成，并于2022-10-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于氧化镓外延的集气环及用于氧化镓外延的MOCVD设备在说明书摘要公布了：本发明公开了一种用于氧化镓外延的集气环以及具有该集气环的用于氧化镓外延的MOCVD设备，所述用于氧化镓外延的集气环包括环状本体，所述环状本体包括相对设置的第一端面、第二端面及位于第一端面和第二端面之间的内表面和外表面，所述第一端面、第二端面、内表面和外表面共同围合形成腔室，所述内表面上开设有与所述腔室连通的多个第一气流孔，所述外表面上开设有与所述腔室连通的多个第二气流孔。本发明的用于氧化镓外延的集气环以及用于氧化镓外延的MOCVD设备，能够解决现有设备内部各部件被氧化镓外延所需氧气氧化的问题。
本发明授权用于氧化镓外延的集气环及用于氧化镓外延的MOCVD设备在权利要求书中公布了：1.一种用于氧化镓外延的集气环，其特征在于，包括： 环状本体，所述环状本体包括相对设置的第一端面、第二端面及位于第一端面和第二端面之间的内表面和外表面，所述内表面的中间形成有用于容纳承载盘和加热组件的安装腔，所述第一端面、第二端面、内表面和外表面共同围合形成腔室，所述内表面上开设有与所述腔室连通的多个第一气流孔，所述外表面上开设有与所述腔室连通的多个第二气流孔，所述第一气流孔、腔室、第二气流孔用于引导氧化镓外延过程中的反应生成气体和多余未反应的反应气体从第二气流孔排出，减少与承载盘和加热组件的接触。
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