陕西煤业化工技术研究院有限责任公司宋聪聪获国家专利权
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龙图腾网获悉陕西煤业化工技术研究院有限责任公司申请的专利一种晶圆减薄用陶瓷基金刚石磨轮及制备方法和应用获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116460756B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-28发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310634854.4,技术领域涉及:B24D3/14;该发明授权一种晶圆减薄用陶瓷基金刚石磨轮及制备方法和应用是由宋聪聪;黄馨乐;沈磊设计研发完成,并于2023-05-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆减薄用陶瓷基金刚石磨轮及制备方法和应用在说明书摘要公布了:本发明公开了一种晶圆减薄用陶瓷基金刚石磨轮及制备方法和应用,包括设置在铝合金基体上的陶瓷研磨块;陶瓷研磨块按质量百分比计包括20%‑40%陶瓷结合剂、20%‑40%金刚石微粉和30%‑50%造孔剂;陶瓷结合剂按质量百分比计包括25%‑50%氧化硅、20%‑40%氧化硼、6%‑15%氧化钠、6%‑10%氧化铝、5%‑7%氧化锌、4%‑6%氧化锆、3%‑5%氧化钙、1%‑3%氧化镁、1%‑3%氧化钾与0.5%‑4%氧化锂。本发明引入氧化锂和氧化锆,降低陶瓷结合剂与金刚石复配的局部应力,提高结合力;氧化钠与氧化钾协同降低了陶瓷烧结温度,本发明有效改善磨轮的使用性能和生产良品率。
本发明授权一种晶圆减薄用陶瓷基金刚石磨轮及制备方法和应用在权利要求书中公布了:1.一种晶圆减薄用陶瓷基金刚石磨轮,其特征在于,包括陶瓷研磨块和铝合金基体,陶瓷研磨块设置在铝合金基体上;陶瓷研磨块按质量百分比计包括20%-40%陶瓷结合剂、20%-40%金刚石微粉和30%-50%造孔剂; 陶瓷结合剂按质量百分比计包括25%-50%氧化硅、20%-40%氧化硼、6%-15%氧化钠、6%-10%氧化铝、5%-7%氧化锌、4%-6%氧化锆、3%-5%氧化钙、1%-3%氧化镁、1%-3%氧化钾与0.5%-4%氧化锂; 陶瓷结合剂为粒径0.1-1.5μm和8-10μm的陶瓷结合剂粉按质量比1-3:1混合制成。
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