南京大学陈健获国家专利权
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龙图腾网获悉南京大学申请的专利一种窄带太赫兹带通滤波器及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116526092B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-28发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211488028.5,技术领域涉及:H01P1/20;该发明授权一种窄带太赫兹带通滤波器及其制备方法是由陈健;迟天圆;石粒力;吴敬波;范克彬;苏润丰;涂学凑;张彩虹;金飙兵;吴培亨设计研发完成,并于2022-11-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种窄带太赫兹带通滤波器及其制备方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种窄带太赫兹带通滤波器及其制备方法,所述滤波器由铝箔纸组成,铝箔纸上有重复结构单元,结构单元由三条槽孔组成,呈“Y”型,结构单元之间的距离为100‑200μm,槽孔的宽度为20‑70μm,长度为30‑80μm;制备方法为:1将铝箔纸的下表面粘接于衬底上,再在其上表面涂覆光刻胶,再进行加热固化;2再对加热固化后的铝箔纸进行曝光,将光掩模板置于铝箔纸上表面的光刻胶上;3采用显影液对曝光后的光刻胶进行显影;4将显影后的铝箔纸置于弱碱性溶液中进行刻蚀;5将经刻蚀处理后的铝箔纸下表面上的衬底进行剥离处理,即得太赫兹带通滤波器。相较于现有技术,本发明太赫兹带通滤波器具有成本低、制备工艺简单且损耗少的优势。
本发明授权一种窄带太赫兹带通滤波器及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种窄带太赫兹带通滤波器,其特征在于,所述太赫兹带通滤波器由铝箔纸组成,铝箔纸上有重复结构单元,结构单元由三条槽孔组成,呈“Y”型,结构单元之间的距离为100-700μm,槽孔的宽度为20-70μm,长度为30-300μm,深度为5-20μm;所述的三条槽孔之间的夹角均为120°;所述的窄带太赫兹带通滤波器的制备方法,按以下步骤: 1将铝箔纸的下表面粘接于衬底上,采用匀胶机在铝箔纸的上表面均匀涂覆AZ1500型光刻胶,再进行加热固化处理; 2采用光刻机对加热固化后的铝箔纸进行曝光处理,将具有重复结构单元“Y”的光掩模板置于铝箔纸上表面的光刻胶上; 3采用ZJ-100显影液对曝光后的光刻胶进行显影处理; 4将显影后的铝箔纸置于弱碱性溶液中进行刻蚀处理; 5将经刻蚀处理后的铝箔纸下表面上的衬底进行剥离处理,即得太赫兹带通滤波器。
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