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龙图腾网获悉杭州电子科技大学申请的专利一种射频电源的阻抗检测电路及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116679128B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310817161.9，技术领域涉及：G01R27/08；该发明授权一种射频电源的阻抗检测电路及方法是由张福洪;李光俊;栾慎吉;易志强;蔡馨慧设计研发完成，并于2023-07-04向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种射频电源的阻抗检测电路及方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种射频电源的阻抗检测电路及方法，该电路中定向耦合器的输入端与所述射频电源输出端连接，输出端与阻抗匹配器连接，阻抗匹配器的输出端连接等离子体负载，定向耦合器的耦合端和隔离端分别耦合出矢量电压信号；第一电压测量模块与定向耦合器的耦合端连接；第二电压测量模块与定向耦合器的隔离端连接；模数转换模块与第一电压测量模块和第二电压测量模块连接；处理器与模数转换模块连接，将转换完成的第一第二电压数字信号进行分析处理确定负载阻抗、射频电源输出功率和负载功率。本发明电路结构更简单，在成本上有优势，实现了对等离子体负载变化的实时监测，为实现更复杂的工艺提供了有效技术支持。

本发明授权一种射频电源的阻抗检测电路及方法在权利要求书中公布了：1.一种射频电源的阻抗检测电路，其特征在于，包括信号采集电路、处理器、阻抗匹配器和等离子体负载； 所述信号采集电路包括：定向耦合器、第一电压测量模块、第二电压测量模块和模数转换模块； 所述定向耦合器的输入端与射频电源输出端连接，所述定向耦合器输出端与阻抗匹配器输入端连接，阻抗匹配器的输出端连接等离子体负载，所述定向耦合器的耦合端和隔离端分别耦合出矢量电压信号； 所述第一电压测量模块输入端与所述定向耦合器的耦合端连接，采集耦合端输出的第一矢量电压信号； 所述第二电压测量模块输入端与所述定向耦合器的隔离端连接，采集隔离端输出的第二矢量电压信号； 所述模数转换模块输入端与第一电压测量模块输出端和第二电压测量模块输出端连接，将第一矢量电压信号和第二矢量电压这两组差分电压模拟信号分别转换为第一电压数字信号和第二电压数字信号； 所述处理器输入端与模数转换模块输出端连接，将转换完成的第一电压数字信号和第二电压数字信号进行分析处理确定等离子体负载阻抗、射频电源输出功率和负载功率。

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