中国科学院金属研究所张广平获国家专利权
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龙图腾网获悉中国科学院金属研究所申请的专利一种MEMS器件用高服役可靠性、廉价层状复合材料的设计方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116692764B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-28发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310598444.9,技术领域涉及:B81B7/00;该发明授权一种MEMS器件用高服役可靠性、廉价层状复合材料的设计方法是由张广平;李梅月;宋竹满;罗雪梅设计研发完成,并于2023-05-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种MEMS器件用高服役可靠性、廉价层状复合材料的设计方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种MEMS器件用高服役可靠性、廉价层状复合材料的设计方法。该方法设计由金属镍层和镍钨合金层交替层叠组成复合层状材料,材料在长期服役过程中内部产生的疲劳裂纹可通过发生钝化、偏折以及界面脱粘来降低裂纹扩展速率,从而提高材料的服役寿命;可通过热处理调控材料异质层间晶粒尺寸匹配,进一步提高材料强度。本发明的特点在于:1材料成本低,力学性能可靠,并具有长使用寿命;2所设计的层状金属复合材料可抑制器件服役过程中疲劳裂纹的萌生和扩展,降低局部应力集中;3可以在空间上灵活地调控相邻层晶粒尺寸,使之相互匹配以使材料获得更高强度。
本发明授权一种MEMS器件用高服役可靠性、廉价层状复合材料的设计方法在权利要求书中公布了:1.一种MEMS器件用高服役可靠性、廉价层状复合材料的设计方法,其特征在于:该层状复合材料是由金属镍层和镍钨合金层依次交替叠加而成;其中,金属镍层为纯度99.0%以上的单质镍,镍钨合金层为含钨量9.0~18.0at.%的镍钨合金。
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