辛耘企业股份有限公司刘茂林获国家专利权
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龙图腾网获悉辛耘企业股份有限公司申请的专利晶圆制程装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116741681B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210206611.6，技术领域涉及：H10P72/30；该发明授权晶圆制程装置是由刘茂林设计研发完成，并于2022-03-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆制程装置在说明书摘要公布了：本发明提供一种晶圆制程装置，其包含一转换机构、一制程槽、一夹具及一制程箱。转换机构包含一平移轨道以及设置在平移轨道上的一翻转台，翻转台具有一翻转轴。制程槽借由翻转轴枢设在翻转台上，制程槽具有一开口。夹具可移动地设置在制程槽内且能够移动凸出开口。制程箱的一侧具有一侧通口且侧通口对应平移轨道的一端配置，制程箱内设置有一喷嘴组件，且喷嘴组件朝向侧通口配置。翻转台能够翻转夹具使夹具朝向侧通口，且翻转台能够沿平移轨道移向制程箱而将凸出开口的夹具通过侧通口移入制程箱至对应喷嘴组件的位置。因此本发明的晶圆制程装置能够适用卧式及立式晶圆制程。
本发明授权晶圆制程装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆制程装置，其特征在于，包含： 一转换机构，包含一平移轨道以及设置在该平移轨道上的一翻转台，该翻转台具有一翻转轴； 一制程槽，借由该翻转轴枢设在该翻转台上，该制程槽具有一开口； 一夹具，可移动地设置在该制程槽内且能够移动凸出该开口；及 一制程箱，该制程箱的一侧具有一侧通口且该侧通口对应该平移轨道的一端配置，该制程箱内设置有一喷嘴组件，且该喷嘴组件朝向该侧通口配置； 其中该翻转台能够翻转该夹具使该夹具朝向该侧通口，且该翻转台能够沿该平移轨道移向该制程箱而将凸出该开口的该夹具通过该侧通口移入该制程箱至对应该喷嘴组件的位置。
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