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龙图腾网获悉午芯(辽宁省)高科技有限公司申请的专利悬浮式电容敏感芯片获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116929415B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210374945.4，技术领域涉及：G01D5/24；该发明授权悬浮式电容敏感芯片是由姜贵民;杨宇新;杨超设计研发完成，并于2022-04-11向国家知识产权局提交的专利申请。

本悬浮式电容敏感芯片在说明书摘要公布了：悬浮式电容敏感芯片属于微机电系统MEMS技术领域，尤其涉及一种悬浮式电容敏感芯片。本发明提供一种悬浮式电容敏感芯片。本发明包括上极板1和下极板2,上极板1与下极板2之间为腔体3，其特征在于腔体3内具有气体4和或下极板2上设置有支撑5。

本发明授权悬浮式电容敏感芯片在权利要求书中公布了：1.悬浮式电容敏感芯片，包括上极板1和下极板2,上极板1与下极板2之间为腔体3，其特征在于，腔体3内具有气体4，下极板2上设置有支撑5； 所述腔体3为密封腔体；所述支撑5为多个，均布于下极板2上； 所述支撑5的横截面为匚字形或回字形； 所述下极板2上设置有多个第二凹槽9，第二凹槽9与第二凹槽9之间的凸起部位作为支撑5； 所述下极板2上端设置有介质层8，支撑5设置在介质层8的上端； 介质层8采用二氧化硅或氮化硅； 支撑5由介质层8直接刻蚀出形状，介质层8与支撑5是一体；或在介质层8上做出支撑5； 所述上极板1和下极板2分别通过压焊点及金属引线或压焊点与外部电路连接； 上极板1为感压极板，上极板1感压后向下极板2方向产生形变，从而改变上极板1与下极板2间的电容值，此时具备非接触式的优点；随着上极板1受压增大，此时腔体3内部气体4对上极板1的向上张力和下极板2上的支撑5共同起作用，使上极板1悬浮在下极板2上方，而不与下极板2接触，此时具备接触式的优点；当上极板1受压减小时，腔体3内部气体4压强迫使上极板1迅速减小形变，从而减小迟滞特性；内部气体4冲入量根据量程、腔体3体积、气体4密度和压强计算出来； 所述气体4为氮气； 下极板2上的支撑5相互之间联通或者不联通；当上极板1与支撑5接触时，相互联通的支撑5之间的气体均匀分布，整个腔体3内的气体4压强均匀分布，压力改变时，上极板1受到腔体3内的气体4对外的张力是均匀的； 所述下极板2的下端为衬底7； 所述衬底7上设置有第一凹槽6，第一凹槽6与下极板2形成第二腔体； 所述第一凹槽6与下极板2形成的第二腔体通过压力通道与外部连通或第一凹槽6与下极板2形成的第二腔体为密封腔体； 所述压力通道11设置在衬底7上。

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