辛耘企业股份有限公司童瑞发获国家专利权
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龙图腾网获悉辛耘企业股份有限公司申请的专利单晶圆湿制程装置及异常处理方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117542749B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210921713.6，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权单晶圆湿制程装置及异常处理方法是由童瑞发;林世佳;冯傳彰设计研发完成，并于2022-08-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本单晶圆湿制程装置及异常处理方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种单晶圆湿制程的异常处理方法，其步骤包含：提供晶圆、摆臂及光接收单元，其摆臂连接致动马达且设有喷嘴及光转向元件，致动马达能够在多个周向位置之间转动以驱动摆臂水平摆动，在周向位置之中定义一参考角度区间，当喷嘴位于晶圆的中心时致动马达位于参考角度区间内，且光转向元件位于一触发位置；自一预定位置投射光束至触发位置；摆动摆臂，当光转向元件通过触发位置时，以光接收单元接收来自光转向元件的光束；若光接收单元测得光束时致动马达所在的周向位置超出参考角度区间，则关断喷嘴并冲洗晶圆。
本发明授权单晶圆湿制程装置及异常处理方法在权利要求书中公布了：1.一种单晶圆湿制程的异常处理方法，其特征在于，包含： a提供一晶圆、一摆臂、一喷嘴及一光接收单元，该摆臂设有一喷嘴、一光转向元件及一致动马达，该致动马达连接该摆臂，该致动马达沿周向具有等角度间距配置的多个周向位置，该致动马达能够在该些周向位置之间转动以驱动该摆臂水平摆动，其中在该些周向位置之中定义一参考角度区间，当该光转向元件位于该晶圆的中心上方的一触发位置时，该致动马达位于该参考角度区间内； b自一预定位置投射一光束至该触发位置； c摆动该摆臂，当该光转向元件通过该触发位置时，以该光接收单元接收来自该光转向元件的该光束； d将该光接收单元测得该光束时该致动马达所在的周向位置比对该参考角度区间；及 e当步骤d中该致动马达所在的周向位置超出该参考角度区间时关断该喷嘴并冲洗该晶圆。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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