北京晶亦精微科技股份有限公司张晓阳获国家专利权
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龙图腾网获悉北京晶亦精微科技股份有限公司申请的专利喷气装置、防止晶圆移位的控制方法、系统及控制装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117602380B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311575858.6，技术领域涉及：B65G49/07；该发明授权喷气装置、防止晶圆移位的控制方法、系统及控制装置是由张晓阳;周庆亚;孟晓云;贾若雨;吴燕林设计研发完成，并于2023-11-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本喷气装置、防止晶圆移位的控制方法、系统及控制装置在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体工艺控制技术领域，公开了一种喷气装置、防止晶圆移位的控制方法、系统及控制装置，喷气装置应用于机械手臂中，在机械手臂上设有多个孔洞，喷气装置与孔洞连接；喷气装置用于从机械手臂的孔洞中喷出气体，以消除机械手臂在装卸晶圆时与晶圆之间的液膜。本发明避免因液膜效应产生的水粘性使晶圆在装卸载过程中出现移位，保证晶圆能够稳定精确的抓取到指定点位，解决了湿润环境中机械手臂与晶圆之间极易产生液膜而引起粘连造成晶圆移位的问题。
本发明授权喷气装置、防止晶圆移位的控制方法、系统及控制装置在权利要求书中公布了：1.一种防止晶圆移位的控制方法，其特征在于，所述方法包括： 当机械手臂抓取晶圆后，向所述机械手臂发射与晶圆平行的声波； 测量所述声波的传播时间； 基于所述声波的传播时间判断机械手臂和晶圆之间是否存在液膜； 当存在液膜时，控制喷气装置喷出气体以消除机械手臂和晶圆之间的液膜； 所述喷气装置应用于机械手臂中，在所述机械手臂上设有多个孔洞，所述喷气装置与孔洞连接； 所述喷气装置用于从机械手臂的孔洞中喷出气体，以消除机械手臂在装卸晶圆时与晶圆之间的液膜； 所述喷气装置还用于从机械手臂的孔洞中喷出气体，在机械手臂卸载晶圆时为晶圆提供支撑力以托起晶圆到达指定点位。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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