长鑫存储技术有限公司杨旭辉获国家专利权
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龙图腾网获悉长鑫存储技术有限公司申请的专利基板加工装置及其控制方法与控制装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117672885B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211025267.7，技术领域涉及：H10P74/20；该发明授权基板加工装置及其控制方法与控制装置是由杨旭辉设计研发完成，并于2022-08-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板加工装置及其控制方法与控制装置在说明书摘要公布了：本公开涉及一种基板加工装置及其控制方法与控制装置，基板加工装置包括承载台、反光组件以及光探测组件。反光组件与承载台相连，并位于放置区的边缘位置。光探测组件位于承载台的上方，光探测组件的出光部朝向放置区的边缘位置，光探测组件还用于感应反光组件的反射光。基板处于异常工作状况时反光组件向外露出，光探测组件的探测光入射到反光组件后，便能感应反光组件的反射光。如此，能及时检测出基板偏移、翘起、破裂等不良现象，并能紧急停止机台的反应腔室做动，阻止损失进一步扩大。此外，只需要设置一个光探测组件即可，能避免光探测组件的数量过多而导致影响机器的性能，同时能降低装置成本。
本发明授权基板加工装置及其控制方法与控制装置在权利要求书中公布了：1.一种基板加工装置，其特征在于，所述基板加工装置包括： 承载台，所述承载台设有承载面，所述承载面设有用于与基板位置相对应的放置区； 反光组件，所述反光组件与所述承载台相连，并位于所述放置区的边缘位置；以及 光探测组件，所述光探测组件位于所述承载台的上方，所述光探测组件的出光部朝向所述放置区的边缘位置，所述光探测组件还用于感应所述反光组件的反射光； 其中，所述反光组件包括一个或多个反光结构，多个所述反光结构呈阵列排布，相邻所述反光结构相互紧贴； 所述反光结构包括第一反光镜、第二反光镜与第三反光镜；所述第一反光镜分别与所述第二反光镜、所述第三反光镜相连并均呈夹角设置，所述第二反光镜与所述第三反光镜相连并呈夹角设置。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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