通威微电子有限公司邹静获国家专利权
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龙图腾网获悉通威微电子有限公司申请的专利一种晶圆抛光装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224169502U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-28发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202521042391.3，技术领域涉及：B24B29/02；该实用新型一种晶圆抛光装置是由邹静设计研发完成，并于2025-05-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆抛光装置在说明书摘要公布了：本实用新型实施例提供了一种晶圆抛光装置，涉及晶圆抛光设备技术领域。晶圆抛光装置包括抛光箱、固定组件及抛光组件。抛光箱内沿竖直方向依次设置有第一工位及第二工位，第二工位相对靠近抛光箱的底部，固定组件安装于抛光箱内，固定组件用于供晶圆固定安装且能带动晶圆沿竖直方向上运动，以使晶圆经过第一工位或第二工位，抛光组件与固定组件相对，抛光组件能在竖直方向上运动以及绕第一预设轴线转动，第一预设轴线与竖直方向平行，第一工位与第二工位为抛光工位或清洗工位。在竖直方向上布置第一工位及第二工位，能够有效的降低本实施例中晶圆抛光装置的占地面积，也可以提高对晶圆的加工效率。
本实用新型一种晶圆抛光装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆抛光装置，其特征在于，包括： 抛光箱100，所述抛光箱100内沿竖直方向依次设置有第一工位101及第二工位102，所述第二工位102相对靠近所述抛光箱100的底部； 固定组件200，所述固定组件200安装于所述抛光箱100内，所述固定组件200用于供晶圆固定安装且能带动所述晶圆沿所述竖直方向上运动，以使所述晶圆经过所述第一工位101或所述第二工位102上； 抛光组件300，所述抛光组件300与所述固定组件200相对，所述抛光组件300能在所述竖直方向上运动以及绕第一预设轴线转动，所述抛光组件300用于对所述固定组件200上的晶圆抛光，所述第一预设轴线与所述竖直方向平行； 其中，所述第一工位101与所述第二工位102为抛光工位或清洗工位。
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