上海新昇半导体科技有限公司汪宇获国家专利权
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龙图腾网获悉上海新昇半导体科技有限公司申请的专利一种用于扩散电阻测试样品制备的研磨装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224169523U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-28发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520961723.1,技术领域涉及:B24B37/34;该实用新型一种用于扩散电阻测试样品制备的研磨装置是由汪宇;曹共柏;王华杰;郑华浩;王佳设计研发完成,并于2025-05-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于扩散电阻测试样品制备的研磨装置在说明书摘要公布了:本实用新型的用于扩散电阻测试样品制备的研磨装置包括研磨盘、随动连接结构、液体存储罐、液体分配器和管路。研磨盘的中间区域为样品研磨区,随动连接结构固定设置于样品研磨区的外围的研磨盘的边缘。液体分配器位于研磨盘上方,包括第一端和第二端,第一端与随动连接结构可转动地连接;第二端设置有多个喷嘴,多个喷嘴朝向样品研磨区。液体存储罐用于存储研磨液。管路一端与液体存储罐连通,另一端位于液体分配器内部与多个喷嘴连通。能够实现研磨液的均匀分布,避免研磨液覆盖不足或液体飞溅问题。
本实用新型一种用于扩散电阻测试样品制备的研磨装置在权利要求书中公布了:1.一种用于扩散电阻测试样品制备的研磨装置,其特征在于,包括: 研磨盘,所述研磨盘的中间区域为样品研磨区; 随动连接结构,固定设置于所述样品研磨区的外围的所述研磨盘的边缘; 液体分配器,位于所述研磨盘上方,包括第一端和第二端,所述第一端与所述随动连接结构可转动地连接;所述第二端设置有多个喷嘴,多个所述喷嘴朝向所述样品研磨区; 液体存储罐,用于存储研磨液; 管路,一端与所述液体存储罐连通,另一端位于所述液体分配器内部与多个所述喷嘴连通。
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