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龙图腾网获悉华海清科股份有限公司申请的专利一种用于化学机械抛光的承载组件获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116214361B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-01发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211694857.9，技术领域涉及：B24B37/30；该发明授权一种用于化学机械抛光的承载组件是由赵德文;吴兴;王国栋;王同庆设计研发完成，并于2022-12-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种用于化学机械抛光的承载组件在说明书摘要公布了：本发明提供了一种用于化学机械抛光的承载组件，包括：减振模块、驱动模块和承载头；其中，所述减振模块包括内部具有空腔的主轴以及位于所述空腔内的第一减振单元，所述第一减振单元包括芯体和配置于所述芯体的外壁处的多个阻尼块，所述阻尼块挤压所述空腔的内壁，以吸收所述主轴的横向振动。本发明在主轴内放置芯体，芯体增强了减振和抗振作用，此外，在芯体外壁设置的多个阻尼块可以吸收来自抛光头研磨所产生的横向激振，充分利用阻尼块的抗压能力，将原有受剪切和拉伸的工作状态改为受压缩的工作状态，增加了横向减振能力的同时也发挥了复位和限位作用。

本发明授权一种用于化学机械抛光的承载组件在权利要求书中公布了：1.一种用于化学机械抛光的承载组件，其特征在于，包括： 减振模块、驱动模块和承载头； 其中，所述减振模块包括内部具有空腔的主轴以及位于空腔内的第一减振单元，所述第一减振单元包括芯体和配置于芯体的外壁处的多个阻尼块，所述阻尼块挤压空腔的内壁，以吸收主轴的横向振动；所述阻尼块的数量六个，三个阻尼块为一组分别位于芯体的两端的外壁处； 所述驱动模块包括驱动单元和位于驱动单元顶部的支架，所述支架为刚性框架结构，用于将减振模块固定于驱动单元内； 所述减振模块还包括位于主轴的顶部的第二减振单元，所述减振模块经由第二减振单元与支架固定连接； 所述第二减振单元包括减振套和减振肋板，所述减振套围绕主轴的外周设置且其内部沿周向设置有轴承座，所述减振肋板的一端与减振套的外壁连接，另一端与支架连接，以将主轴吊装于驱动模块内； 所述第二减振单元还包括配置于轴承座的外围的多个减振块，所述减振块紧贴减振套的内壁和轴承座的外圈，通过挤压以吸收主轴的横向振动；所述减振块的顶部与盖设于减振套顶部的挡圈之间留有间隙，以将振动能量转化为减振块内部的摩擦阻尼予而消耗。

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