厦门钧摩芯半导体有限公司白晓锌获国家专利权
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龙图腾网获悉厦门钧摩芯半导体有限公司申请的专利一种半导体生产废气处理工艺获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117357991B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-01发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311561329.0，技术领域涉及：B01D50/00；该发明授权一种半导体生产废气处理工艺是由白晓锌;蔡项勉;陈瑞勇设计研发完成，并于2023-11-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体生产废气处理工艺在说明书摘要公布了：本发明涉及废气净化技术领域，一种半导体生产废气处理工艺，该工艺包括：预处理，将对象引入前置机构中参与前置除尘处理；混气处理，将所述前置机构输出的对象引入混气机构中参与缓流降速处理；净化处理，将混气机构输出的对象引入到净化机构中参与等离子体燃烧净化处理；冷却处理，将净化处理输出的对象引入到冷却机构中进行冷却处理；排放处理，将冷却机构输出的对象经外排机构外排。本发明有利于解决现有一些等离子净化设备在处理废气时存在杂质清楚难、气流量变化导致净化效果拨动的问题。
本发明授权一种半导体生产废气处理工艺在权利要求书中公布了：1.一种半导体生产废气处理工艺，其特征在于，该工艺包括： 预处理，将对象引入前置机构中参与前置除尘处理，所述前置机构中设有复合型层级除尘模块，能够将对象中携带的固态颗粒物进行若干次功能性协同拦截； 混气处理，将所述前置机构输出的对象引入混气机构中参与缓流降速处理，所述混气机构包括一混气罐，所述混气罐的输入端连接若干分流管，各所述分流管的输入端合并后与前置机构的出气口连通，所述分流管的输出端均布于所述混气罐外周端面上；所述混气机构中设有针对所述对象的气流矢量调控结构，用于对阈值时间段内的对象进行匀化平衡处理，所述气流矢量调控结构为设置于所述分流管内部的可转动叶轮；所述混气罐内位于其供气口外围设有6个螺旋导向片； 净化处理，将混气机构输出的对象引入到净化机构中参与等离子体燃烧净化处理，所述净化机构中设有同步作业的若干等离子体产生装置，能够将对象分流反应并燃烧； 冷却处理，将净化处理输出的对象引入到冷却机构中进行冷却处理； 排放处理，将冷却机构输出的对象经外排机构外排。
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