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龙图腾网获悉北京京仪自动化装备技术股份有限公司申请的专利半导体温控装置及温控方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117870183B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-01发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311734989.4，技术领域涉及：F25B1/00；该发明授权半导体温控装置及温控方法是由靳李富;董春辉;贾正帅;郑璐;胡文达;刘紫阳;芮守祯;何茂栋;曹小康设计研发完成，并于2023-12-15向国家知识产权局提交的专利申请。

本半导体温控装置及温控方法在说明书摘要公布了：本申请涉及半导体生产设备技术领域，提供一种半导体温控装置及温控方法。半导体温控装置包括制冷系统；内循环系统，包括换热部件、载冷剂存储件和驱动泵，换热部件、载冷剂存储件的第一入口、载冷剂存储件的第一出口和驱动泵依次连通连接，换热部件与制冷系统连接，换热部件适于和制冷系统换热；载冷剂循环管路系统，载冷剂存储件的第二出口、载冷剂循环管路系统和载冷剂存储件的第二入口依次连通；控制系统，制冷系统和驱动泵均与控制系统连接。根据本申请实施例的半导体温控装置，实现了制冷系统间歇性工作的目的，降低了制冷系统的输出比，达到节能降耗的效果。

本发明授权半导体温控装置及温控方法在权利要求书中公布了：1.一种半导体温控装置，其特征在于，包括： 制冷系统； 内循环系统，包括换热部件、载冷剂存储件和驱动泵，所述换热部件、所述载冷剂存储件的第一入口、所述载冷剂存储件的第一出口和所述驱动泵依次连通连接，所述换热部件与所述制冷系统连接，所述换热部件适于和所述制冷系统换热； 载冷剂循环管路系统，所述载冷剂存储件的第二出口、所述载冷剂循环管路系统和所述载冷剂存储件的第二入口依次连通； 控制系统，所述制冷系统和所述驱动泵均与所述控制系统连接； 三通阀，所述载冷剂循环管路系统包括出液管路和回液管路，所述三通阀的入口与所述回液管路连接，所述三通阀的第一出口与所述载冷剂存储件的第二入口连通，所述三通阀的第一出口与所述出液管路连通，所述载冷剂存储件的第二出口与所述出液管路连通； 当制冷系统、内循环系统和载冷剂循环管路系统均处于工作状态时，三通阀的开度处于最小值；当制冷系统处于非工作状态后，控制三通阀的开度逐渐增加，当确定三通阀的开度增大至预设开度值时，则控制制冷系统、内循环系统和载冷剂循环管路系统均处于工作状态，同时控制三通阀的开度逐渐降低至最小值。

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