新阳硅密(上海)半导体技术有限公司史蒂文·贺·汪获国家专利权
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龙图腾网获悉新阳硅密(上海)半导体技术有限公司申请的专利一种清洗水平电镀头导电环的装置及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118768262B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-01发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310310157.3，技术领域涉及：B08B1/14；该发明授权一种清洗水平电镀头导电环的装置及方法是由史蒂文·贺·汪;林鹏鹏;王铮设计研发完成，并于2023-03-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种清洗水平电镀头导电环的装置及方法在说明书摘要公布了：本发明提供了一种清洗水平电镀头导电环的装置及方法，其中装置包括电镀头和清洁制具；电镀头内设置有驱动部、固定件、晶圆安装位以及导电环；清洁制具的尺寸与晶圆一致，清洁制具包括圆盘、设于圆盘上的气囊以及贴设于气囊上的清洁棉片，清洁制具安装于晶圆安装位后，固定件将圆盘固定，清洁棉片与导电环接触；导电环在驱动部的驱动下相对清洁棉片旋转。本发明通过巧妙的结构设计，实现了在不拆卸导电环的前提下，完成电镀工作后导电环表面的污渍清洁，从而避免晶圆被导电环上残留的工艺液体污染，由此达到彻底清洗晶圆以提高产品性能与可靠性的目的。
本发明授权一种清洗水平电镀头导电环的装置及方法在权利要求书中公布了：1.一种清洗水平电镀头导电环的装置，其特征在于，包括电镀头和清洁制具； 所述电镀头内设置有驱动部、固定件、晶圆安装位以及导电环；所述驱动部包括中空轴、套设于中空轴外的电机转子以及套设于电机转子外的电机定子； 所述清洁制具的尺寸与晶圆一致，清洁制具包括圆盘、设于圆盘上的气囊以及贴设于气囊上的清洁棉片，气囊连接充气管，充气管穿过中空轴以与外部的充气装置连接； 所述清洁制具安装于晶圆安装位后，固定件将圆盘固定，清洁棉片与导电环接触；所述导电环与电机转子连接，电机定子通电后，电机转子带动导电环相对清洁棉片旋转。
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