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龙图腾网获悉深圳市昇维旭技术有限公司申请的专利外接吹扫装置及半导体制造系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119376189B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-01发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410834264.0，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权外接吹扫装置及半导体制造系统是由邹谭圆设计研发完成，并于2024-06-25向国家知识产权局提交的专利申请。

本外接吹扫装置及半导体制造系统在说明书摘要公布了：本申请属于曝光设备技术领域，具体涉及一种外接吹扫装置及半导体制造系统，用于曝光设备，曝光设备包括投影装置和通道装置，投影装置包括至少一个透镜，通道装置具有内部空间，内部空间用于容纳投影装置中的至少一个透镜，外接吹扫装置包括供气连接单元、过滤连接单元和适配单元，供气连接单元用于提供吹扫气体，适配单元与通道装置可拆卸连接，过滤连接单元设置于供气连接单元和适配单元之间，用于连接过滤器以过滤吹扫气体。在曝光设备的内置吹扫装置无法使用，或无高纯度吹扫气体供给时，采用外接吹扫装置代替内置吹扫装置，将过滤得到的高纯度吹扫气体，替换内部空间中的气体，可避免投影装置暴露在环境中造成投影装置不可逆的污染。

本发明授权外接吹扫装置及半导体制造系统在权利要求书中公布了：1.一种半导体制造系统，包括曝光设备，所述曝光设备包括投影装置、通道装置和内置吹扫装置，所述投影装置包括至少一个透镜，所述通道装置具有内部空间，所述内部空间用于容纳所述投影装置中的至少一个所述透镜，所述内置吹扫装置用于向所述内部空间通入吹扫气体，其特征在于，所述半导体制造系统还包括外接吹扫装置，所述外接吹扫装置包括： 供气连接单元，用于连接气源以提供吹扫气体； 适配单元，能够与所述通道装置可拆卸连接； 过滤连接单元，连接于所述供气连接单元和所述适配单元之间，所述过滤连接单元用于连接过滤器以过滤所述吹扫气体，过滤的所述吹扫气体用于替换所述内部空间中的气体； 所述供气连接单元包括M个气源接口组件和M个第一传输通道，M≥2，所述第一传输通道与所述气源接口组件一一对应，所述气源接口组件的第一端用于与所述气源连接，所述气源接口组件的第二端与所述第一传输通道的第一端连接，所述第一传输通道的第二端与所述过滤连接单元连接； 所述过滤连接单元包括N个过滤器接口组件、N个第二传输通道以及N个第三传输通道，N≥2，所述第二传输通道和所述第三传输通道均与所述过滤器接口组件一一对应，所述过滤器接口组件包括用于与所述过滤器连接的过滤器接口部件，所述第二传输通道的第一端与所述第一传输通道的第二端连接，所述过滤器接口组件连接于所述第二传输通道的第二端以及所述第三传输通道的第一端之间，所述第三传输通道的第二端与所述适配单元连接； 所述供气连接单元还包括第一控制阀单元、第二控制阀单元和第三控制阀单元，所述第一控制阀单元设置于所述第一传输通道上且与所述第一传输通道一一对应，所述第二控制阀单元设置于所述第二传输通道上且与所述第二传输通道一一对应，所述第三控制阀单元设置于所述第三传输通道上且与所述第三传输通道一一对应，所述第一控制阀单元和所述第三控制阀单元为单向阀，所述第二控制阀单元为开关阀。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人深圳市昇维旭技术有限公司，其通讯地址为：518000 广东省深圳市龙岗区平湖街道辅城坳社区新源三巷1号B栋104；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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