华海清科股份有限公司田鑫涛获国家专利权
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龙图腾网获悉华海清科股份有限公司申请的专利卷径检测组件及基板研磨装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119681777B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-01发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411922054.3，技术领域涉及：B24B37/00；该发明授权卷径检测组件及基板研磨装置是由田鑫涛;周朝龙;张子彤;辛宇航;郭垒设计研发完成，并于2024-12-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本卷径检测组件及基板研磨装置在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体基板研磨技术领域。本发明的一个实施例提供了一种卷带卷径检测组件，用于实时地检测卷带的卷径。其包括摆动件，所述摆动件摆动地设置在所述卷带的一侧；压部，设置在所述摆动件上，用于适应性地压在卷带的周面上；测角传感器，其用于测量所述摆动件的摆动角度。本发明的另一实施例提供了一种基板研磨装置，在对基板研磨时实时测量卷带的卷径，并依据卷径调整释放和或收卷的扭矩。本发明解决了晶圆研磨控制精度存在波动导致产品精度变差的技术问题。
本发明授权卷径检测组件及基板研磨装置在权利要求书中公布了：1.基板研磨装置，其特征在于，包括： 第一滚筒110，第一滚筒110上绕设有研磨用卷带200； 第二滚筒120，用于收卷卷带200； 第一摆动件310，其摆动地设置在所述第一滚筒110的一侧； 第一压部410，其设置在所述第一摆动件310上，用于适应性地压在所述第一滚筒110上的卷带200的周面上； 第一测角传感器610，用于测量所述第一摆动件310的摆动角度； 还包括第二压部420，所述第一压部410和所述第二压部420均为滚轮401，均转动设置在所述第一摆动件310上，并且所述第一压部410还相对所述第一摆动件310滑动设置，滑动方向平行于所述第一摆动件310的长度方向，所述第一摆动件310的摆动轴在竖向上可滑动设置。
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