无锡互创芯微半导体科技有限公司李仙获国家专利权
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龙图腾网获悉无锡互创芯微半导体科技有限公司申请的专利一种静电吸盘加热装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119767452B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-01发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411948850.4，技术领域涉及：H05B3/06；该发明授权一种静电吸盘加热装置是由李仙设计研发完成，并于2024-12-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种静电吸盘加热装置在说明书摘要公布了：本发明涉及一种静电吸盘加热装置，包括底板，所述底板地上设有支撑板，支撑板上安装有支撑圆环，支撑圆环的内环面上对称设有内环支板，两个内环支板之间设有内环，支撑圆环的内壁上还设有至少两个加热条，以用于对内环的进行加热，以保证内环内部的温度一致；内环支板不仅增强了支撑圆环的结构稳定性，还为内环的安装提供了必要的支撑，为了实现对内环的加热，支撑圆环的内壁上加热条，加热条能够快速地产生热量，并传递给内环，以确保热量能够均匀地分布在内环的内部空间。
本发明授权一种静电吸盘加热装置在权利要求书中公布了：1.一种静电吸盘加热装置，其特征在于，包括底板1，所述底板1上设有支撑板2，支撑板2上安装有支撑圆环21，支撑圆环21的内环面上对称设有内环支板26，两个内环支板26之间设有内环27，支撑圆环21的内壁上还设有至少两个加热条28，以用于对内环27进行加热，以保证内环27内部的温度一致； 所述底板1的上方对称设有横板33，每个横板33上均开设有两个第一圆孔34、第二圆孔35；每两个上下分布的第一圆孔34、第二圆孔35呈阶梯分布，第二圆孔35上设有静电吸盘； 所述横板33的中部套设有盖板32，横板33相互远离的一端设有支撑圆板3，支撑圆板3与盖板32之间设有连接板31，连接板31上均设有第二连接块42，位于下方的第二连接块42通过滑板54与底板1形成滑动连接； 所述支撑圆环21的两端外壁设有第一连接块4，第一连接块4与第二连接块42之间设有伸缩管41，第一连接块4与第二连接块42的内部均开设有通孔，以便与伸缩管41相通，位于上方的连接板31上设有连接罩43，连接罩43与第二连接块42相通，以便于支撑圆环21内的热流进入连接罩43并从中流出。
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