江苏前锦炉业设备有限公司刘俊获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏前锦炉业设备有限公司申请的专利一种滑动式双温区化学气相沉积系统及工艺获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120625015B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-01发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510831837.9,技术领域涉及:C23C16/44;该发明授权一种滑动式双温区化学气相沉积系统及工艺是由刘俊;吴国君;叶智设计研发完成,并于2025-06-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种滑动式双温区化学气相沉积系统及工艺在说明书摘要公布了:本发明公开了一种滑动式双温区化学气相沉积系统及工艺,包括设备本体、设备盖和双温区化反应管,所述设备本体的顶端后端转动连接有设备盖,且设备盖和设备本体的相对侧中间位置皆纵向开设有加热槽,所述加热槽与双温区化反应管相适配,且双温区化反应管纵向设置于设备本体加热槽内部,所述双温区化反应管的两端外侧皆固定连接有支撑架;本发明在设备静止运行时,保证设备运行稳定性,避免外部因素导致设备晃动导致反应区发生震动,影响后续产物纯度,其次保证设备静止运行时进行连接处密封操作,防止热量逃散导致温度不能快速到达反应温度,增加设备电力消耗。
本发明授权一种滑动式双温区化学气相沉积系统及工艺在权利要求书中公布了:1.一种滑动式双温区化学气相沉积系统,包括设备本体1、设备盖2和双温区化反应管3,其特征在于,所述设备本体1的顶端后端转动连接有设备盖2,且设备盖2和设备本体1的相对侧中间位置皆纵向开设有加热槽13,所述加热槽13与双温区化反应管3相适配,且双温区化反应管3纵向设置于设备本体1加热槽13内部,所述双温区化反应管3的两端外侧皆固定连接有支撑架4,且支撑架4的底端固定连接有连接基座5,所述设备本体1的底部固定连接有位移机构6,所述位移机构6的底部固定连接有自锁机构7,所述支撑架4的相对侧活动连接有密封机构8; 所述密封机构8包括驱动电机801、控制杆802、限位条803、卷线辊804和钢索805,所述控制杆802的一端通过联轴器固定连接于驱动电机801输出端,且限位条803设有两根并且呈对称形式纵向固定连接于控制杆802的外侧,所述卷线辊804设有两个,且卷线辊804的相对侧通过连接件固定连接,所述卷线辊804的内部开设有滑孔,且滑孔与控制杆802和限位条803连接截面相适配,所述卷线辊804呈对称滑动连接于控制杆802的表面,所述钢索805设有四根并且每两根为一组分别同方向缠绕于卷线辊804的表面; 所述驱动电机801固定连接于支撑架4的外侧,所述设备本体1的底部纵向开设有贯穿孔11,且控制杆802纵向贯穿于贯穿孔11的内部,所述控制杆802的两端分别通过轴承活动连接于支撑架4的相对侧,所述卷线辊804的外侧开设有滑槽12; 所述密封机构8还包括密封环806、连接轴807、支撑条808和滚轮809,所述密封环806设有四个,且密封环806呈弧形并且两两对称设置,每组所述密封环806的底端皆通过扭矩弹簧转动连接于连接轴807的表面,且连接轴807分别固定连接于设备本体1开设弧形槽的两端,所述支撑条808的一端固定连接于连接轴807远离密封环806的一端,且滚轮809皆活动连接于支撑条808的另一端,所述滚轮809与滑槽12相适配,且滚轮809滚动连接于滑槽12的内部。
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