复旦大学;上海复矽源半导体科技有限公司张善端获国家专利权
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龙图腾网获悉复旦大学;上海复矽源半导体科技有限公司申请的专利空间光谱辐照度一致性的测量设备、数据获取和确定方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121207327B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-01发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511755950.X，技术领域涉及：G01J3/28；该发明授权空间光谱辐照度一致性的测量设备、数据获取和确定方法是由张善端;张学士;田宇;周艺洋;韩秋漪;朱倩文;李志君设计研发完成，并于2025-11-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本空间光谱辐照度一致性的测量设备、数据获取和确定方法在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体设备检测领域，具体涉及空间光谱辐照度一致性的测量设备、数据获取和确定方法，设备包括：外部框架模块，外部框架模块的内部界定测试空间，外部框架模块上具有用于承载待测光源的支撑结构；测试模块，设置于测试空间内，包括：置物台；定位系统，包括水平平移机构和垂直升降机构；通过水平平移机构安装于置物台上的辐照度计探头和光谱仪积分球，辐照度计探头和光谱仪积分球通过定位系统在测试空间内移动；处理模块，电性连接于外部框架模块和测试模块。用于测量半导体用大功率微波紫外光源空间光谱辐照度一致性。解决了如何测量和评价微波紫外光源空间光谱辐照度一致性的问题。
本发明授权空间光谱辐照度一致性的测量设备、数据获取和确定方法在权利要求书中公布了：1.一种空间光谱辐照度一致性的测量设备，其特征在于，包括： 外部框架模块，所述外部框架模块为可移动的黑色箱体，内部界定测试空间；所述外部框架模块包括： 用于隔离测试环境的测试箱框架，顶部中间镂空； 支撑结构，所述支撑结构为中间镂空的光源托板，设置于所述测试箱框架的顶部，用于承载待测光源； 测试模块，设置于所述测试空间内，包括： 置物台； 定位系统，包括水平平移机构和垂直升降机构； 通过所述水平平移机构安装于所述置物台上的辐照度计探头和光谱仪积分球，所述辐照度计探头和所述光谱仪积分球通过所述定位系统在所述测试空间内移动； 处理模块，电性连接于所述外部框架模块和所述测试模块。
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