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龙图腾网获悉上海邦芯半导体科技有限公司申请的专利一种半导体制造设备及气体管路异常检测系统、方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121612521B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-01发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202610137598.1，技术领域涉及：G01M3/28；该发明授权一种半导体制造设备及气体管路异常检测系统、方法是由沈康;董淑瑜;涂乐义;黄海栋;彭国发设计研发完成，并于2026-01-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种半导体制造设备及气体管路异常检测系统、方法在说明书摘要公布了：本申请涉及一种半导体制造设备及气体管路异常检测系统、方法，其中该气体管路异常检测系统包括与反应腔连接且具有至少一个可独立控制气体支路的气体供应装置、气体抽真空装置、设置于气体支路上的质量流量控制器、设置于反应腔上的腔体压力计以及控制器，控制器被配置为：对目标气体支路依次执行气体流量检测和腔内压力检测，并将在第一预设时间段内获取质量流量控制器的流量信号，与第一标准阈值比较得到第一比较结果；在第二预设时间段内获取腔体压力计的压力信号，与第二标准阈值比较得到第二比较结果；依据两个比较结果的组合判断气体支路是否存在堵塞或泄漏异常。本申请无需拆卸管路就能在线快速精准定位异常位置，提高了维护效率。

本发明授权一种半导体制造设备及气体管路异常检测系统、方法在权利要求书中公布了：1.一种用于半导体制造设备的气体管路异常检测系统，其特征在于，包括： 气体供应装置：与半导体制造设备的反应腔连接，并用于向所述反应腔提供气体，所述气体供应装置包括至少一个能被独立通断控制的气体支路； 气体抽真空装置：与所述反应腔连接并用于对所述反应腔抽真空； 质量流量控制器：设置于所述气体支路上，用于实时检测流经所述气体支路的气体质量流量并提供第一流量信号； 腔体压力计：设置于所述反应腔上，用于实时检测所述反应腔内的绝对压力或相对压力并提供第一压力信号； 控制器：所述控制器用于接收所述第一流量信号和所述第一压力信号； 其中，所述控制器被配置为：按预设的检修顺序，执行所述气体支路对应的通断指令和所述反应腔对应的抽真空指令，并获取所述气体支路上对应的所述第一流量信号和所述第一压力信号，将所述气体支路在第一预设时间段内的所述第一流量信号对应数值，与对应的第一标准阈值比较得到第一比较结果，以及将第二预设时间段内的所述第一压力信号对应数值，与对应的第二标准阈值比较得到第二比较结果，依据所述第一比较结果和所述第二比较结果判断所述气体支路是否存在异常，所述异常包括堵塞或泄漏；第一预设时间段为在开启通气稳定阶段的预设时长，第二预设时间段为在关闭通气后腔内压力稳定阶段的预设时长； 其中，若所述第一比较结果指示所述第一流量信号的数值低于所述第一标准阈值，则判定所述气体支路存在堵塞异常；若所述第一比较结果指示所述第一流量信号的数值达到所述第一标准阈值，而所述第二比较结果指示所述第一压力信号的数值高于所述第二标准阈值，则判定所述气体支路存在泄漏或堵塞异常。

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