山西涅尔光学科技有限公司侯健获国家专利权
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龙图腾网获悉山西涅尔光学科技有限公司申请的专利一种基于内腔反射相机系统的芯片键合引线三维测量系统获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224189182U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-01发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202521138935.6,技术领域涉及:G01B11/24;该实用新型一种基于内腔反射相机系统的芯片键合引线三维测量系统是由侯健;梁晓艺设计研发完成,并于2025-06-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于内腔反射相机系统的芯片键合引线三维测量系统在说明书摘要公布了:本实用新型提供了一种基于内腔反射相机系统的芯片键合引线三维测量系统,其包括显微镜头、反射镜腔、中继镜头、工业相机及照明模块。所述反射镜腔内设置两片平行平面镜,用于将显微镜头成像后的第一实像分离为三条独立光路,形成三视角虚像,并通过中继镜头以1∶1放大倍率传输至工业相机的感光芯片,实现单次曝光采集三视角图像。系统配合计算机进行光流计算、点云融合与三维重建,生成带纹理色彩的三维网格模型,实现对多层引线遮挡结构的高精度、非接触式测量。该系统结构紧凑、装调简便,适用于车规级芯片键合封装的在线检测。
本实用新型一种基于内腔反射相机系统的芯片键合引线三维测量系统在权利要求书中公布了:1.一种基于内腔反射相机系统的芯片键合引线三维测量系统,其特征在于,包括: 工业相机,所述工业相机的外壳安装于光路末端,所述工业相机内部固定安装有感光芯片,所述感光芯片位于与中继镜头的光轴同轴的像面,用于接收投射的三视角像; 显微镜头,所述显微镜头的物侧面对被测芯片键合引线进行放大成像,所述显微镜头的像侧在第一像面形成第一实像; 反射镜腔,设置于所述显微镜头的像侧焦平面位置,用于将所述第一实像分离为左、中、右三条独立光路并分别形成三视角虚像; 中继镜头,所述中继镜头的光学中心位于所述反射镜腔的出射光路上,用于将所述三视角虚像等比成像于所述感光芯片的不同区域; 镜头延长环,设置于所述反射镜腔与所述中继镜头之间,用于微调所述反射镜腔与所述中继镜头之间的轴向距离,以获得最佳成像焦平面; 照明模块,所述照明模块的出射光经漫射后与所述显微镜头的光轴同轴照射被测芯片,以降低镜面反射干扰; 计算机,与所述工业相机连接,用于由所述工业相机采集的包含三视角图像的数据进行处理,并生成被测芯片键合引线的三维结构结果。
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