黑曼巴半导体(无锡)有限公司钱佳获国家专利权
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龙图腾网获悉黑曼巴半导体(无锡)有限公司申请的专利一种利用激光检测半导体表面平整度的设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224189188U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-01发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520902477.2,技术领域涉及:G01B11/30;该实用新型一种利用激光检测半导体表面平整度的设备是由钱佳设计研发完成,并于2025-05-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种利用激光检测半导体表面平整度的设备在说明书摘要公布了:本实用新型涉及表面平整度检测技术领域,尤其为一种利用激光检测半导体表面平整度的设备,包括主体,主体的顶部固定连接有激光发射组件、旋转升降组件和控制组件;本实用新型通过利用高精度激光检测技术,其具有极高的分辨率和精度,能够检测到微小的表面缺陷和不平整,而非接触式测量则避免了接触式测量可能对样品表面造成的损伤,保证了样品的完整性,激光扫描速度快,能够在短时间内完成对大面积样品表面的检测,设备可以自动进行扫描、数据采集和分析,减少了人为操作的误差,提高了检测效率和可靠性。
本实用新型一种利用激光检测半导体表面平整度的设备在权利要求书中公布了:1.一种利用激光检测半导体表面平整度的设备,包括主体1,其特征在于:所述主体1的顶部固定连接有激光发射组件2、旋转升降组件3和控制组件4; 所述主体1包括支撑架101,所述支撑架101的顶部固定连接有顶板103,所述顶板103的顶部固定连接有聚焦透镜104和反射镜105; 所述激光发射组件2包括滑槽201,所述滑槽201的侧面安装有第一伸缩杆202,所述第一伸缩杆202的输出端固定连接有安装座203,所述安装座203的内部安装有激光发射集成204; 所述旋转升降组件3包括防护盒301,所述防护盒301的内部安装有电机302,所述电机302的输出端固定连接有第二伸缩杆303,所述第二伸缩杆303的输出端固定连接有检测放置板304; 所述控制组件4包括控制箱401,所述控制箱401的内部固定连接有线路板402,所述线路板402的侧面固定连接有信号处理模块403、放大模块404、滤波模块405和模数转换模块406。
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