致真精密仪器(青岛)有限公司孙天然获国家专利权
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龙图腾网获悉致真精密仪器(青岛)有限公司申请的专利一种扫描探针显微镜光学追踪结构及扫描探针显微镜获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224190053U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-01发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202521250318.5，技术领域涉及：G01Q60/00；该实用新型一种扫描探针显微镜光学追踪结构及扫描探针显微镜是由孙天然;张学莹设计研发完成，并于2025-06-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种扫描探针显微镜光学追踪结构及扫描探针显微镜在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种扫描探针显微镜光学追踪结构及扫描探针显微镜，包括追踪组件，所述追踪组件包括检测光源、探针、探测器、反射镜、第一Z向位移组件、第二Z向位移组件、XY向位移组件，能够在探针沿Z向移动的过程中实现光束照射在探测器上的位置保持不变，在探针靠近或远离被测物时能够消除探针移动所引起的光束在探测器上的位置变动，以确保探针靠近或远离被测物时不会干扰被测物的检测；此外，还能够利用第一Z向位移组件实现探针沿Z方向的快速移动，配合第二Z向位移组件，能够实现快速且精确的探针的Z向位置调整。
本实用新型一种扫描探针显微镜光学追踪结构及扫描探针显微镜在权利要求书中公布了：1.一种扫描探针显微镜光学追踪结构，其特征在于：包括追踪组件，所述追踪组件包括检测光源、探针、探测器、反射镜、第一Z向位移组件、第二Z向位移组件、XY向位移组件，所述第二Z向位移组件、XY向位移组件设置于所述第一Z向位移组件的移动端，所述检测光源设置于所述XY向位移组件的移动端，所述探针、探测器、反射镜设置于所述第二Z向位移组件的移动端，所述检测光源发出的光束至少经所述探针、反射镜并入射所述探测器，所述探测器被构造成能够根据照射在其上的光的位置形成相应信号的形式。
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