上海柯舜科技有限公司黄晓婷获国家专利权
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龙图腾网获悉上海柯舜科技有限公司申请的专利一种探针台用探针导冷结构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224190100U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-01发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520932238.1，技术领域涉及：G01R1/067；该实用新型一种探针台用探针导冷结构是由黄晓婷设计研发完成，并于2025-05-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种探针台用探针导冷结构在说明书摘要公布了：本申请涉及半导体检测技术领域，尤其是涉及一种探针台用探针导冷结构，包括真空腔本体、固定穿设于真空腔本体底壁以支撑工件的工件支撑座以及沿径向滑移插设于真空腔本体周壁的探针臂，探针臂连接有导冷带，导冷带的另一端连接于真空腔本体底部内壁或工件支撑座外壁。探针臂与导冷带相连，导冷带的另一端连接于真空腔本体底部内壁或工件支撑座外壁，从而将真空腔内部的冷量传导至探针臂。这种结构能够对探针臂进行预冷处理，有效避免探针臂在测试过程中因温度差异导致样品温度升高，进而提高测试精度。
本实用新型一种探针台用探针导冷结构在权利要求书中公布了：1.一种探针台用探针导冷结构，其特征在于：包括真空腔本体2、固定穿设于真空腔本体2底壁以支撑工件的工件支撑座3以及沿径向滑移插设于真空腔本体2周壁的探针臂4，探针臂4连接有导冷带5，导冷带5的另一端连接于真空腔本体2底部内壁或工件支撑座3外壁。
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