深圳市龙图光罩股份有限公司武志伦获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市龙图光罩股份有限公司申请的专利一种掩膜版修补装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224190388U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-01发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202521004558.7，技术领域涉及：G03F1/72；该实用新型一种掩膜版修补装置是由武志伦;郭成恩设计研发完成，并于2025-05-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种掩膜版修补装置在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种掩膜版修补装置，包括运动平台、激光系统和成像系统，运动平台被配置为在平面内沿第一方向和或第二方向运动；激光系统包括激光头和调节组件，激光头通过调节组件与运动平台连接，并位于运动平台的上方；成像系统包括图像采集单元，图像采集单元与激光头连接；图像采集单元被配置为采集掩膜版的图像信息，并根据掩膜版的图像信息控制运动平台运动；运动平台被配置为响应于图像采集单元采集的掩膜版的图像信息，以带动激光头随运动平台同步运动，以修补掩膜版。本装置中运动平台可根据图像采集单元所采集的掩膜版的待修复部位的图像信息带动激光头运动，以调节激光头对准待修复部位，方便用户操作，并确保修复合格率。
本实用新型一种掩膜版修补装置在权利要求书中公布了：1.一种掩膜版修补装置，其特征在于，包括： 运动平台，所述运动平台被配置为在平面内沿第一方向和或第二方向运动，所述第一方向和所述第二方向相互垂直； 激光系统，所述激光系统包括激光头和调节组件，所述激光头通过所述调节组件与所述运动平台连接，并位于所述运动平台的上方；所述激光头被配置为随所述运动平台同步运动，以修补掩膜版；所述调节组件被配置为调节所述激光头所发射的激光垂直于所述运动平台； 成像系统，所述成像系统包括图像采集单元，所述图像采集单元与所述激光头连接；所述图像采集单元被配置为采集掩膜版的图像信息，并根据掩膜版的图像信息控制所述运动平台运动； 所述运动平台被配置为响应于所述图像采集单元采集的掩膜版的图像信息，以带动所述激光头随所述运动平台同步运动，以修补掩膜版。
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