山西中电科电子装备有限公司田冬龙获国家专利权
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龙图腾网获悉山西中电科电子装备有限公司申请的专利高纯石英砂真空氯化焙烧进气纯化系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN121041822B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-05发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511278180.4,技术领域涉及:B01D53/04;该发明授权高纯石英砂真空氯化焙烧进气纯化系统是由田冬龙;吴忠举;李剑;韩冬;张震设计研发完成,并于2025-09-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本高纯石英砂真空氯化焙烧进气纯化系统在说明书摘要公布了:本发明公开高纯石英砂真空氯化焙烧进气纯化系统,包括:支撑台,支撑台包括石墨平台和石墨支撑柱,石墨支撑柱设置有若干组;分气盘,分气盘固定在石墨平台的顶面,分气盘上设置有若干放置区间,放置区间分别设置有分气模块;提纯装置,提纯装置设置有若干组,若干组提纯装置分别固定在分气盘上的放置区间内,提纯装置包括装置本体和装置盖,装置盖可拆卸连接在装置本体顶部,装置本体内中心位置安装有通气管,通气管顶部密封,通气管上开设有进气孔,装置本体内填充有石英砂;供气系统,供气系统与分气模块连通。本发明可以使HCL或CL2等工艺气体,强制的进入到石英砂内部与杂质反应,提高了石英砂纯度。
本发明授权高纯石英砂真空氯化焙烧进气纯化系统在权利要求书中公布了:1.高纯石英砂真空氯化焙烧进气纯化系统,其特征在于,包括: 支撑台,所述支撑台包括石墨平台1和石墨支撑柱2,所述石墨支撑柱2设置有若干组,若干组所述石墨支撑柱2分别固定在所述石墨平台1的底部; 分气盘3,所述分气盘3固定在所述石墨平台1的顶面,所述分气盘3上设置有若干放置区间4,所述放置区间4分别设置有分气模块; 提纯装置,所述提纯装置设置有若干组,若干组所述提纯装置分别固定在所述分气盘3上的放置区间4内,所述提纯装置包括装置本体5和装置盖6,所述装置盖6可拆卸连接在所述装置本体5顶部,所述装置本体5内中心位置安装有通气管7,所述通气管7顶部密封,底部穿过所述装置本体5的底部且与所述分气模块连通,所述通气管7上开设有进气孔8,所述装置本体5内填充有石英砂,所述装置盖6上开设有通气孔15,所述通气孔15与所述装置本体5连通; 供气系统,所述供气系统与所述分气模块连通; 所述分气模块包括进气源点11和进气口12,所述进气口12设置有四组,四组所述进气口12呈正方形布置,所述进气源点11设置在四组所述进气口12的中间位置,且所述进气口12与所述进气源点11之间通过分支气道13连通,所述进气口12与所述通气管7的底部对接,所述供气系统与所述进气源点11连接; 所述供气系统包括气瓶、气泵、分流器和供气管14,所述气泵与所述气瓶连接,所述分流器与所述气泵的输出端连接,所述分流器上安装有若干组所述供气管14,若干组所述供气管14分别与所述分气模块的所述进气源点11连接; 所述进气孔8为斜孔,且靠近所述通气管7外壁一侧的高度小于靠近所述通气管7内壁一侧的高度,避免漏砂。
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