广东工业大学张揽宇获国家专利权
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龙图腾网获悉广东工业大学申请的专利基于自回归前馈预测补偿的光谱共焦随动检测方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121185214B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511277168.1，技术领域涉及：G01B11/24；该发明授权基于自回归前馈预测补偿的光谱共焦随动检测方法是由张揽宇;郭东涛;郑卓鋆;高健设计研发完成，并于2025-09-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本基于自回归前馈预测补偿的光谱共焦随动检测方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种基于自回归前馈预测补偿的光谱共焦随动检测方法，该方法包括：搭建三维测量系统，并将光谱共焦传感器调整至工作范围内；计算当前检测区域中的样品高度值，并保存若干历史高度值数据；实时计算当前传感器读数与样品高度值之间的偏差；利用自回归模型对未来的高度变化进行预测；根据预测的高度生成前馈补偿控制量；将前馈补偿控制量加到控制信号中，生成最终的控制信号。通过使用本发明，实现精准动态随动检测。本发明可广泛应用于精密检测领域。
本发明授权基于自回归前馈预测补偿的光谱共焦随动检测方法在权利要求书中公布了：1.一种基于自回归前馈预测补偿的光谱共焦随动检测方法，其特征在于，包括以下步骤： 获取高度数据并构建历史高度数据集； 设定恒定高度并与所述高度数据作差，得到高度偏差； 基于所述历史高度数据集和自回归模型进行预测，得到预测高度； 基于所述预测高度生成前馈预测补偿控制量，并生成最终控制输出信号； 所述获取高度数据并构建历史高度数据集这一步骤，其具体包括： 基于传感器获取高度数据； 获取由高精度光栅尺反馈的绝对位置值； 将所述高度数据和所述绝对位置值相加，得到样品的高度； 将多个样品表面实际高度进行记录，得到历史高度数据集； 所述最终控制输出信号的表达式如下： 其中，为当前高度差；为PID比例；为积分系数；为微分系数；为前馈预测补偿控制量； 所述自回归模型表示如下： 其中，表示回归系数，为误差项，i表示自回归项的序号，表示自回归模型的阶数，表示预测的t+1时刻的估计高度，表示t-i+1时刻的真实测量高度。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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