华芯程(杭州)科技有限公司熊万能获国家专利权
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龙图腾网获悉华芯程(杭州)科技有限公司申请的专利一种光刻收缩缺陷校验方法及装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121232548B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511804300.X，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权一种光刻收缩缺陷校验方法及装置是由熊万能设计研发完成，并于2025-12-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种光刻收缩缺陷校验方法及装置在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体制造领域，特别是涉及一种光刻收缩缺陷校验方法及装置，通过接收目标曲线图形及所述目标曲线图形经过OPC处理得到的待查模拟曲线图形；确定所述目标曲线图形上的采样点，并获取各个所述采样点沿对应的切线的法线方向到所述待查模拟曲线图形的偏差距离、各个所述采样点对应的曲率及各个所述采样点的法线与所述待查模拟曲线图形交点处的实测线宽；确定各个所述采样点对应的曲线位置误差；确定对应的采样点的线宽缩小系数；计算各个采样点的收缩缺陷风险值；当所述收缩缺陷风险值超过所述容忍阈值时，将对应的采样点确定为收缩缺陷风险点。本发明提升了收缩缺陷的检测精度，降低了缺陷漏检的概率，且提升了校验方法的泛用性。
本发明授权一种光刻收缩缺陷校验方法及装置在权利要求书中公布了：1.一种光刻收缩缺陷校验方法，其特征在于，包括： 接收目标曲线图形及所述目标曲线图形经过OPC处理得到的待查模拟曲线图形； 确定所述目标曲线图形上的采样点，并获取各个所述采样点沿对应的切线的法线方向到所述待查模拟曲线图形的偏差距离、各个所述采样点对应的曲率及各个所述采样点的法线与所述待查模拟曲线图形交点处的实测线宽； 根据各个所述采样点的偏差距离与曲率，确定各个所述采样点对应的曲线位置误差； 根据各个所述实测线宽与预设的设计线宽，确定对应的采样点的线宽缩小系数； 根据所述线宽缩小系数与所述曲线位置误差，计算各个采样点的收缩缺陷风险值； 判断所述收缩缺陷风险值是否超过预设的容忍阈值； 当所述收缩缺陷风险值超过所述容忍阈值时，将对应的采样点确定为收缩缺陷风险点。
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