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镭神泰克科技(苏州)有限公司黄刚获国家专利权

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龙图腾网获悉镭神泰克科技(苏州)有限公司申请的专利一种晶圆精密打标设备用转移装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN121237710B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-05发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511425149.9,技术领域涉及:H10P72/30;该发明授权一种晶圆精密打标设备用转移装置是由黄刚;张来克;周虎设计研发完成,并于2025-09-30向国家知识产权局提交的专利申请。

一种晶圆精密打标设备用转移装置在说明书摘要公布了:本发明属于晶圆打标技术领域,具体涉及一种晶圆精密打标设备用转移装置,包括上料段和定位打标段;所述上料段包括上料料盒台面和上料弹夹台面,所述上料料盒台面用于对裸片型晶圆上料,所述上料弹夹台面用于对晶圆型晶圆上料,所述上料料盒台面和上料弹夹台面之间设置有用于转移晶圆的移栽组件,所述移栽组件包括机械手和其端部的取料手指,所述定位打标段置于上料段尾部,所述定位打标段包括精密运动轴和精密平台,所述精密运动轴用于为精密平台提供移栽动力,所述精密平台用于对晶圆吸附定位,本发明可以减小甚至消除晶圆翘曲对激光打标的精度影响,并自动进行激光打标对于来料类型不做单一设定,可实现多类型来料产品混合加工。

本发明授权一种晶圆精密打标设备用转移装置在权利要求书中公布了:1.一种晶圆精密打标设备用转移装置,其特征在于:包括上料段和定位打标段;所述上料段包括上料料盒台面A-1和上料弹夹台面A-2,所述上料料盒台面A-1用于对裸片型晶圆上料,所述上料弹夹台面A-2用于对晶圆型晶圆上料; 所述上料料盒台面A-1和上料弹夹台面A-2之间设置有用于转移晶圆的移栽组件G-1,所述移栽组件G-1包括机械手G-1-1和其端部的取料手指G-1-2; 所述定位打标段置于上料段尾部,所述定位打标段包括精密运动轴H和精密平台K,所述精密运动轴H用于为精密平台K提供移栽动力,所述精密平台K用于对晶圆吸附定位; 所述定位打标段还包括精定位相机系统L和激光系统M,所述精定位相机系统L用于对精密平台K上的晶圆取像定位,所述激光系统M用于对经过精定位相机系统L定位后的晶圆进行激光高速烧蚀。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人镭神泰克科技(苏州)有限公司,其通讯地址为:215000 江苏省苏州市苏州工业园区苏虹西路9号新虹产业园7栋202室;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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