株式会社荏原制作所富田正辉获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社荏原制作所申请的专利电阻体遮罩、镀覆装置以及镀覆方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN121399305B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-05发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202480042970.X,技术领域涉及:C25D17/10;该发明授权电阻体遮罩、镀覆装置以及镀覆方法是由富田正辉设计研发完成,并于2024-12-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本电阻体遮罩、镀覆装置以及镀覆方法在说明书摘要公布了:本发明根据基板上的晶片的配置图案来适当地遮蔽非图案区域。一种电阻体遮罩,用于在镀覆装置中配置在基板与阳极之间并具有两个四边形重叠而成的十字形的图案区域的电阻体,其中,具备:与上述两个四边形中的一个四边形的各角部对应设置的第一遮罩片~第四遮罩片;和相对于从上述一个四边形的相互对置的两边的各边向外侧延伸的一对突出部分分别设置的第五遮罩片及第六遮罩片。
本发明授权电阻体遮罩、镀覆装置以及镀覆方法在权利要求书中公布了:1.一种电阻体遮罩,用于在镀覆装置中配置在基板与阳极之间并具有两个四边形重叠而成的十字形的图案区域的电阻体,其特征在于,具备: 与所述两个四边形中的一个四边形的各角部对应设置的第一遮罩片~第四遮罩片;和 相对于从所述一个四边形的相互对置的两边的各边向外侧延伸的一对突出部分分别设置的第五遮罩片及第六遮罩片。
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