苏州赛腾精密电子股份有限公司孙丰获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉苏州赛腾精密电子股份有限公司申请的专利晶圆表面检测控制方法、装置、系统及其存储介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121666044B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202610179893.3，技术领域涉及：H10P74/20；该发明授权晶圆表面检测控制方法、装置、系统及其存储介质是由孙丰;赵建华;蒋立设计研发完成，并于2026-02-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆表面检测控制方法、装置、系统及其存储介质在说明书摘要公布了：本发明公开了一种晶圆表面检测控制方法、装置、系统及其存储介质，方法包括在夹持机构于指定位置对待检晶圆进行夹持时，控制光学扫描装置分别按照第一预设扫描路径和第二预设扫描路径对所述待检晶圆进行两次扫描，并在两次扫描过程中，控制夹持机构执行避让动作，分别得到第一正面图像、第一反面图像、第二正面图像和第二反面图像；对第一正面图像和第二正面图像进行拼接，以及对第一反面图像和第二反面图像进行拼接，分别生成正面完整图像和反面完整图像。本发明实现了晶圆表面自动检测，提高了晶圆表面检测的自动化程度，解决了现有技术中无法避免夹持干扰、无法高效获取晶圆正反面完整图像的问题。
本发明授权晶圆表面检测控制方法、装置、系统及其存储介质在权利要求书中公布了：1.一种晶圆表面检测控制方法，其特征在于，所述方法包括： 在夹持机构于指定位置对待检晶圆进行夹持时，控制光学扫描装置分别按照第一预设扫描路径和第二预设扫描路径对所述待检晶圆进行两次扫描，并在两次扫描过程中，控制所述夹持机构执行避让动作，分别得到所述待检晶圆在第一次扫描过程中的第一正面图像和第一反面图像以及在第二次扫描过程中的第二正面图像和第二反面图像；其中，所述光学扫描装置包括分别位于所述待检晶圆的正反两面的第一线扫相机和第二线扫相机；所述第二预设扫描路径与所述第一预设扫描路径不同； 对所述第一正面图像和所述第二正面图像进行拼接，以及对所述第一反面图像和所述第二反面图像进行拼接，分别生成所述待检晶圆的正面完整图像和反面完整图像。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人苏州赛腾精密电子股份有限公司，其通讯地址为：215000 江苏省苏州市吴中经济开发区郭巷街道淞葭路585号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励