西安电子科技大学张洁获国家专利权
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龙图腾网获悉西安电子科技大学申请的专利基于屏蔽条带柔性温度和应力集成传感器阵列及制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN121702592B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-05发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202610209269.3,技术领域涉及:G01L1/22;该发明授权基于屏蔽条带柔性温度和应力集成传感器阵列及制备方法是由张洁;刘珏良;云晓丽;蒋超;王建军;黄进;赵鹏兵;杨玉鹏设计研发完成,并于2026-02-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本基于屏蔽条带柔性温度和应力集成传感器阵列及制备方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种基于屏蔽条带柔性温度和应力集成传感器阵列及制备方法,涉及微电子技术领域,包括:第一导电层,包括沿第一方向平行排布的多条第一导线;第二导电层,包括沿第二方向平行排布的多条第二导线;第一导线与第二导线限定出阵列排布的多个区域,每个区域包括四个对角排布的子区域,每个区域中设置有两个应力传感器和一个温度传感器;屏蔽条带层,位于第一导电层与第二导电层之间,包括沿第二方向平行排布的多条屏蔽条带,第二导线位于屏蔽条带的上表面;其中,第一方向与第二方向相交。本发明显著降低了传统布局中导线的面积占比,大幅提升了传感区域的有效利用率。
本发明授权基于屏蔽条带柔性温度和应力集成传感器阵列及制备方法在权利要求书中公布了:1.一种基于屏蔽条带柔性温度和应力集成传感器阵列,其特征在于,包括: 第一导电层,包括沿第一方向平行排布的多条第一导线; 第二导电层,包括沿第二方向平行排布的多条第二导线;所述第一导线与所述第二导线限定出阵列排布的多个区域,每个区域包括四个对角排布的子区域,每个区域中设置有两个应力传感器和一个温度传感器; 屏蔽条带层,位于所述第一导电层与所述第二导电层之间,包括沿第二方向平行排布的多条屏蔽条带,所述第二导线位于所述屏蔽条带的上表面; 其中,所述第一方向与所述第二方向相交; 相邻的三条所述第一导线组成第一导线单元,其中,所述第一导线单元中,第一组相邻两条第一导线之间的距离小于第二组相邻两条第一导线之间的距离; 所述第一导线单元与所述第二导线限定出一个所述区域,包括由第一组相邻两条第一导线与所述第二导线限定出的两个第一子区域,以及由第二组相邻两条第一导线与所述第二导线限定出的两个第二子区域; 同一所述区域中的两个第一子区域中仅有一个第一子区域中设置应力传感器,同一所述区域中的两个第二子区域中一个第二子区域中设置应力传感器、另一个第二子区域中设置温度传感器,且所述温度传感器的两侧均设置所述应力传感器。
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