买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉荣芯半导体(宁波)有限公司申请的专利腔室喷气组件及化学气相沉积设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224199467U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-05发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520744446.9，技术领域涉及：C23C16/455；该实用新型腔室喷气组件及化学气相沉积设备是由赵后锦;赵学法;李明设计研发完成，并于2025-04-17向国家知识产权局提交的专利申请。

本腔室喷气组件及化学气相沉积设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种腔室喷气组件及化学气相沉积设备。腔室喷气组件包括罩体、中心喷气构件及侧部喷气构件。罩体包括顶壁和侧壁。侧部喷气构件包括边缘喷气件和中间喷气件。边缘喷气件在侧壁的径向方向自侧壁朝罩体的中心延伸第一长度。边缘喷气件具有边缘出气口。中间喷气件在侧壁的径向方向自侧壁朝罩体的中心延伸第二长度。第二长度大于第一长度。中间喷气件具有中间出气口。中间出气口沿侧壁的径向方向位于中心喷气构件与边缘喷气件之间。中间喷气件包括主管道和分支管道。主管道连接至侧壁并沿侧壁的径向方向延伸设置。分支管道连通至主管道并与主管道相交。本实用新型能提高气体在晶圆的中心区域、中间区域以及边缘区域分布的均匀性。

本实用新型腔室喷气组件及化学气相沉积设备在权利要求书中公布了：1.一种腔室喷气组件，其特征在于，所述腔室喷气组件包括： 罩体，所述罩体包括顶壁和侧壁，所述顶壁被构造成圆形，所述侧壁被构造成在所述顶壁的圆周方向延伸设置的环形结构； 中心喷气构件，所述中心喷气构件设置于所述顶壁的中心，以适于向晶圆的中心区域喷气；以及 侧部喷气构件，所述侧部喷气构件连接至所述侧壁，所述侧部喷气构件包括： 多组边缘喷气件，所述多组边缘喷气件中的各组边缘喷气件沿所述侧壁的圆周方向间隔布置，所述边缘喷气件被构造成在所述侧壁的径向方向自所述侧壁朝所述罩体的中心延伸第一长度，所述边缘喷气件具有适于向晶圆的边缘区域喷气的边缘出气口； 至少两个中间喷气件，所述至少两个中间喷气件中的各个中间喷气件沿所述侧壁的圆周方向间隔布置，所述中间喷气件被构造成在所述侧壁的径向方向自所述侧壁朝所述罩体的中心延伸第二长度，所述第二长度大于所述第一长度，所述中间喷气件具有中间出气口，所述中间出气口沿所述侧壁的径向方向位于所述中心喷气构件与所述边缘喷气件之间，所述中间出气口适于向晶圆的中间区域喷气， 所述中间喷气件包括： 主管道，所述主管道连接至所述侧壁，并沿所述侧壁的径向方向朝所述罩体的中心延伸设置；和 至少两个分支管道，所述分支管道连通至所述主管道，所述至少两个分支管道中的各个分支管道位于所述主管道沿相交于所述主管道的方向的至少一侧，和或所述至少两个分支管道中的各个分支管道沿所述主管道的延伸方向间隔布置， 其中，每个所述中间喷气件包括多个所述中间出气口，且多个所述中间出气口至少设于所述分支管道。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人荣芯半导体(宁波)有限公司，其通讯地址为：315809 浙江省宁波市北仑区柴桥街道金水桥路28号4幢1号1层-1；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。