烟台齐新半导体技术研究院有限公司季塬鸣获国家专利权
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龙图腾网获悉烟台齐新半导体技术研究院有限公司申请的专利抽真空管理系统及等离子干法刻蚀设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224200783U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-05发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520925931.6，技术领域涉及：F04B41/06；该实用新型抽真空管理系统及等离子干法刻蚀设备是由季塬鸣;曲艺;林云峰设计研发完成，并于2025-05-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本抽真空管理系统及等离子干法刻蚀设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种抽真空管理系统及等离子干法刻蚀设备，所述抽真空管理系统包括：泵组件，包括主真空泵和副真空泵；管路组件，用于将所述泵组件与待抽真空设备连接，所述管路组件包括与所述主真空泵连接的第一管路、与所述副真空泵连接的第二管路以及将所述第一管路和所述第二管路与所述待抽真空设备连接的第三管路；开关组件，设于所述管路组件上，用于切换控制所述第一管路和所述第二管路的开闭，以切换所述主真空泵和所述副真空泵中之一与所述待抽真空设备连通。
本实用新型抽真空管理系统及等离子干法刻蚀设备在权利要求书中公布了：1.一种抽真空管理系统，其特征在于，包括： 泵组件，包括主真空泵11和副真空泵12； 管路组件，用于将所述泵组件与待抽真空设备13连接，所述管路组件包括与所述主真空泵11连接的第一管路21、与所述副真空泵12连接的第二管路22以及将所述第一管路21和所述第二管路22与所述待抽真空设备13连接的第三管路23； 开关组件，设于所述管路组件上，用于切换控制所述第一管路21和所述第二管路22的开闭，以切换所述主真空泵11和所述副真空泵12中之一与所述待抽真空设备13连通。
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