重庆芯联微电子有限公司李小龙获国家专利权
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龙图腾网获悉重庆芯联微电子有限公司申请的专利一种光罩传送模组的防护结构及光刻设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224203567U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-05发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520768638.3，技术领域涉及：G03F7/20；该实用新型一种光罩传送模组的防护结构及光刻设备是由李小龙;田龙设计研发完成，并于2025-04-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种光罩传送模组的防护结构及光刻设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种光罩传送模组的防护结构及光刻设备，所述光罩传送模组中设有不透明的防光盖板；在所述防光盖板上设有观察窗口和不透明盖板，不透明盖板能够完全覆盖住观察窗口。不透明盖板关闭状态下，满足设备内部遮光需求；光罩传送出现异常停机或设备维修保养需要打开设备前，可先打开不透明盖板，通过观察窗口确认机械臂及光罩的位置是否安全，避免损坏手臂和光罩，减少设备宕机时长。
本实用新型一种光罩传送模组的防护结构及光刻设备在权利要求书中公布了：1.一种光罩传送模组的防护结构，其特征在于，所述光罩传送模组中设有不透明的防光盖板1； 在所述防光盖板上设有观察窗口2和不透明盖板3，所述不透明盖板3能够完全覆盖住所述观察窗口2； 所述防光盖板1包括第一防光板11，所述第一防光板11两端分别密闭连接有第二防光板12和第三防光板13，所述第一防光板11、所述第二防光板12与所述第三防光板13均为不透明防护板；所述观察窗口2设置于所述第一防光板11上。
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