重庆芯联微电子有限公司孟奇林获国家专利权
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龙图腾网获悉重庆芯联微电子有限公司申请的专利隔热组件以及曝光设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224203569U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-05发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520995832.5，技术领域涉及：G03F7/20；该实用新型隔热组件以及曝光设备是由孟奇林;王磊;李小龙设计研发完成，并于2025-05-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本隔热组件以及曝光设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种隔热组件以及曝光设备，隔热组件包括：基座，设置有温度调整单元，用于容置等待曝光的硅片；以及机柜，与基座可拆卸地连接；机柜与温度调整单元之间设置有可移动的隔热件，隔热件的移动方向与机柜和温度调整单元之间的连线呈角度地设置。如此配置，通过在机柜和温度调整单元之间设置可移动的隔热件，以阻隔机柜在曝光设备正常工作时所散发的热辐射，进而避免停留在温度调整单元上的硅片受热辐射的影响而产生形变，导致套刻误差的增大；同时，设置隔热件，不再需要在机柜外部包裹铝箔，且在后续维护过程中，不再需要对机柜的散热模组的散热效率进行检查，节省了维护时间，从而提升了曝光设备的产能和产品良率。
本实用新型隔热组件以及曝光设备在权利要求书中公布了：1.一种隔热组件，其特征在于，包括： 基座，设置有温度调整单元，用于容置等待曝光的硅片； 以及机柜，与所述基座可拆卸地连接； 所述机柜与所述温度调整单元之间设置有可移动的隔热件，所述隔热件的移动方向与所述机柜和所述温度调整单元之间的连线呈角度地设置。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人重庆芯联微电子有限公司，其通讯地址为：401332 重庆市沙坪坝区高新区西永街道西永大道28-2号SOHO楼601-A153；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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