重庆芯联微电子有限公司张雪锋获国家专利权
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龙图腾网获悉重庆芯联微电子有限公司申请的专利气浮隔振系统以及曝光设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224203570U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-05发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520995862.6，技术领域涉及：G03F7/20；该实用新型气浮隔振系统以及曝光设备是由张雪锋;田龙;王磊设计研发完成，并于2025-05-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本气浮隔振系统以及曝光设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种气浮隔振系统以及曝光设备，气浮隔振系统包括：框架单元、气浮单元以及排气单元；框架单元包括相互接触的主框架和基准框架，其中，基准框架远离主框架的一端还设置有支撑板；支撑板与主框架间形成气浮腔；气浮单元包括置于气浮腔中的空气轴承，压缩空气自空气轴承喷出，空气轴承与支撑板相接触，以在空气轴承与主框架、以及基准框架与主框架之间形成气垫；排气单元部分伸入气浮腔中，用于向外部抽吸压缩空气。如此配置，通过增设排气单元，将排气单元伸入气浮腔中，以使得在对气浮隔振系统进行维护检修时，能够快速抽排气浮腔中的压缩空气，以减少停机等待时间，进一步提升曝光设备的产能。
本实用新型气浮隔振系统以及曝光设备在权利要求书中公布了：1.一种气浮隔振系统，其特征在于，包括：框架单元、气浮单元以及排气单元； 所述框架单元包括相互接触的主框架和基准框架，其中，所述基准框架远离所述主框架的一端还设置有支撑板；所述支撑板与所述主框架间形成一气浮腔； 所述气浮单元包括置于所述气浮腔中的空气轴承，以及与所述空气轴承相连通的气体供应组件，所述气体供应组件用于向所述空气轴承提供压缩空气，所述压缩空气自所述空气轴承喷出，所述空气轴承与所述支撑板相接触，以在所述空气轴承与所述主框架、以及所述基准框架与所述主框架之间形成气垫； 所述排气单元部分伸入所述气浮腔中，用于向外部抽吸所述压缩空气。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人重庆芯联微电子有限公司，其通讯地址为：401332 重庆市沙坪坝区高新区西永街道西永大道28-2号SOHO楼601-A153；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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