张家港意发功率半导体有限公司周炳获国家专利权
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龙图腾网获悉张家港意发功率半导体有限公司申请的专利一种晶圆双面自动检测装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224205583U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-05发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520973026.8,技术领域涉及:H10P72/00;该实用新型一种晶圆双面自动检测装置是由周炳设计研发完成,并于2025-05-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆双面自动检测装置在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种晶圆双面自动检测装置,其包括:底座、转盘、第一视觉检测镜头、第二视觉检测镜头和第三视觉检测镜头,底座上设置有旋转驱动机构,转盘水平设置在旋转驱动机构上,转盘顶面环形阵列设置有数个与晶圆对应的定位槽,所述定位槽底部设置有延伸至转盘底面的通孔,第一视觉检测镜头悬置在第a个定位槽的上方,第二视觉检测镜头设置在第b个定位槽的通孔下方,底座上设置有位于第c个定位槽的通孔下方的升降驱动机构,升降驱动机构上设置有指向上方的伸缩杆,伸缩杆上同心设置有位于顶部下方的托盘,第三视觉检测镜头环形阵列设置在托盘上并指向上方,实现了晶圆正面和背面的自动视觉检测,提升了自动化水平。
本实用新型一种晶圆双面自动检测装置在权利要求书中公布了:1.一种晶圆双面自动检测装置,用于晶圆的视觉检测,其特征在于,包括:底座、转盘、第一视觉检测镜头、第二视觉检测镜头和第三视觉检测镜头,所述底座上设置有旋转驱动机构,所述转盘水平设置在旋转驱动机构上,所述转盘顶面环形阵列设置有数个与晶圆对应的定位槽,所述定位槽底部设置有延伸至转盘底面的通孔,所述第一视觉检测镜头悬置在第a个定位槽的上方,所述第二视觉检测镜头设置在第b个定位槽的通孔下方,所述底座上设置有位于第c个定位槽的通孔下方的升降驱动机构,所述升降驱动机构上设置有指向上方的伸缩杆,所述伸缩杆上同心设置有位于顶部下方的托盘,所述第三视觉检测镜头环形阵列设置在托盘上并指向上方。
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