韦森特(东莞)科技技术有限公司张凯获国家专利权
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龙图腾网获悉韦森特(东莞)科技技术有限公司申请的专利一种连续快速覆膜设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224205592U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-05发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202521179600.9,技术领域涉及:H10P72/00;该实用新型一种连续快速覆膜设备是由张凯设计研发完成,并于2025-06-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种连续快速覆膜设备在说明书摘要公布了:本实用新型涉及半导体加工的技术领域,尤其是涉及一种连续快速覆膜设备,包括设备机架、位移机构、覆膜机构和环切机构,设备机架上设有多个覆膜工位,每个覆膜工位均设有对应的覆膜机构和环切机构;位移机构设有位移支架、平移部件、升降部件和多个位移吸盘,位移支架安装于设备机架,平移部件安装于位移支架,升降部件安装于平移部件的驱动端,多个位移吸盘分别间隔均匀的安装于升降部件的驱动端,从而对多个晶圆进行等距输送操作。综上所述,通过等距位移机构与多覆膜工位实现流水线作业,大幅提升贴膜效率;利用校正、视觉检测确保晶圆精准定位;旋转、翻转工位适配多元工艺;各机构设计优化,保障设备稳定可靠,满足高效生产需求。
本实用新型一种连续快速覆膜设备在权利要求书中公布了:1.一种连续快速覆膜设备,其特征在于,包括设备机架10、位移机构20、覆膜机构40和环切机构60,设备机架10上设有多个覆膜工位11,每个覆膜工位11均设有对应的覆膜机构40和环切机构60,从而分别对覆膜工位11上的晶圆进行贴膜和环切操作;位移机构20设有位移支架21、平移部件30、升降部件33和多个位移吸盘22,位移支架21安装于设备机架10,平移部件30安装于位移支架21,升降部件33安装于平移部件30的驱动端,多个位移吸盘22分别间隔均匀的安装于升降部件33的驱动端,从而在平移部件30的驱动下,对多个晶圆进行等距输送操作。
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