合肥知路科技有限公司;中国科学技术大学张永亮获国家专利权
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龙图腾网获悉合肥知路科技有限公司;中国科学技术大学申请的专利一种非对称式薄膜压力传感器获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116067533B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-08发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211486011.6,技术领域涉及:G01L1/16;该发明授权一种非对称式薄膜压力传感器是由张永亮;赵红宇;郑航;马宏昊;海得琛;杨科设计研发完成,并于2022-11-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种非对称式薄膜压力传感器在说明书摘要公布了:本发明公开了一种非对称式薄膜压力传感器,涉及传感器技术领域。本发明包括开设有通孔的间隔层、聚偏氟乙烯压电膜、下电极片、设置于聚偏氟乙烯压电膜上部迎波面的上电极片、外绝缘层、接线端点;位于聚偏氟乙烯压电膜高出间隔层的侧面与上电极片迎波斜面以及间隔层的上表面形成棱台环状形的空隙,间隔层及聚偏氟乙烯压电膜、下电极片、上电极片、外绝缘层相叠形成非对称式结构。本发明通过预压措施将聚偏氟乙烯压电膜的另一侧与下部PI覆铜膜紧密贴合,采用聚偏氟乙烯压电膜凸起的设计,非对称式薄膜压力传感器能够获取得到更大入射角度加载工况下的信号捕捉率,减小封装层运动的影响,减小较大的迎波面封装带来的表面褶皱影响测量的误差。
本发明授权一种非对称式薄膜压力传感器在权利要求书中公布了:1.一种非对称式薄膜压力传感器,其特征在于:包括设置于中间位置且中间开设有通孔501的间隔层5、设置于通孔501内且与之相匹配的聚偏氟乙烯压电膜4、设置于聚偏氟乙烯压电膜4底面的下电极片1、设置于聚偏氟乙烯压电膜4上部迎波面的上电极片2、设置于下电极片1以及上电极片2外表面的外绝缘层3、安装于上电极片2以及下电极片1上的接线端点6; 所述聚偏氟乙烯压电膜4的底面与下电极片1表面相平齐;所述上电极片2底部与聚偏氟乙烯压电膜4表面相贴合后两侧形成迎波斜面并延伸后与间隔层5上表面相贴合,所述间隔层5下表面与外绝缘层3相贴合,位于所述聚偏氟乙烯压电膜4高出间隔层5的侧面与上电极片2迎波斜面以及间隔层5的上表面形成棱台环状形的空隙502,所述聚偏氟乙烯压电膜4位于空隙502中心位置; 所述间隔层5及聚偏氟乙烯压电膜4、下电极片1、上电极片2、外绝缘层3相叠形成非对称式结构。
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