北京北方华创微电子装备有限公司韦鑫锋获国家专利权
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龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利半导体工艺设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119626881B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411689868.7，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权半导体工艺设备是由韦鑫锋;郑建宇;闫志顺;江伟;简师节设计研发完成，并于2024-11-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本半导体工艺设备在说明书摘要公布了：本申请公开了一种半导体工艺设备，涉及光伏、半导体领域。一种半导体工艺设备，包括：承载舟和射频隔离装置；所述承载舟包括分别作为射频电极板或接地电极板的多个加热板，所述加热板设有加热件，所述加热件的一端相对于所述加热板引出，所述加热件包括金属套；所述射频隔离装置包括第一隔离组件，所述第一隔离组件包括隔离环，所述隔离环连接于所述金属套，用于阻断所述加热板中射频信号经由所述金属套传出。本申请能够解决射频泄漏等问题。
本发明授权半导体工艺设备在权利要求书中公布了：1.一种半导体工艺设备，其特征在于，包括：承载舟和射频隔离装置； 所述承载舟包括分别作为射频电极板或接地电极板的多个加热板，所述加热板设有加热件，所述加热件的一端相对于所述加热板引出，所述加热件包括金属套和加热丝芯线，所述加热丝芯线穿设于所述金属套的内侧，且所述加热丝芯线与所述金属套之间设有绝缘层，所述加热丝芯线的引出端用于通过转接导线与线缆连接； 所述射频隔离装置包括第一隔离组件，所述第一隔离组件包括隔离环，所述隔离环连接于所述金属套，用于阻断所述加热板中射频信号经由所述金属套传出。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人北京北方华创微电子装备有限公司，其通讯地址为：100176 北京市大兴区经济技术开发区文昌大道8号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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