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龙图腾网获悉江苏凯威特斯半导体科技有限公司申请的专利一种应用于半导体设备腔体铝钛熔射复合涂层制作工艺获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119800271B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411861280.5，技术领域涉及：C23C4/129；该发明授权一种应用于半导体设备腔体铝钛熔射复合涂层制作工艺是由薛弘宇;李伟东;靳普云;张牧;龚文凯;朱文健;徐钰虹;徐洋;陆琦;严汪学;桂传书设计研发完成，并于2024-12-17向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种应用于半导体设备腔体铝钛熔射复合涂层制作工艺在说明书摘要公布了：本发明属于热喷涂技术领域，具体涉及一种应用于半导体设备腔体铝钛熔射复合涂层制作工艺，包括以下步骤：1使用白刚玉砂材对半导体设备腔体进行喷砂；2去除残留砂材，清洗，干燥处理，得到预处理半导体设备腔体；3使用超音速火焰在预处理半导体设备腔体表面熔射铝丝，得到铝熔射涂层；4使用超音速火焰在铝熔射涂层表面熔射钛丝，得到钛熔射涂层，清洗干燥和真空热处理。本发明制备的复合涂层，粗糙度符合要求，熔射结合力较高，涂层不易脱落，孔隙率低，涂层更致密。

本发明授权一种应用于半导体设备腔体铝钛熔射复合涂层制作工艺在权利要求书中公布了：1.一种应用于半导体设备腔体铝钛熔射复合涂层制作工艺，其特征在于，包括以下步骤： 1使用白刚玉砂材对半导体设备腔体进行喷砂； 2先使用高压水洗去除残留砂材，再进行超声波清洗，最后使用氮气吹干并在烘箱内干燥处理，得到预处理半导体设备腔体； 3使用超音速火焰在预处理半导体设备腔体表面熔射铝丝，得到铝熔射涂层；超音速火焰熔射条件为：电流为180-200A，电压为25-30V，熔射距离为150-180mm，压缩空气气压为40-50psi；铝熔射涂层的厚度为50±20μm； 4使用超音速火焰在铝熔射涂层表面熔射钛丝，得到钛熔射涂层，经清洗干燥和真空热处理，真空热处理条件为：真空度4-6mtorr，先在260-270℃，保温1-2h；在230-240℃保温3-4h，最后在温度为200-210℃，保温时间1-2h，随炉冷却；得到应用于半导体设备腔体铝钛熔射复合涂层； 超音速火焰熔射条件为：电流为180-200A，电压为25-30V，熔射距离为150-180mm，压缩空气气压为40-50psi；钛熔射涂层的厚度为100±30μm； 铝熔射涂层的厚度与钛熔射涂层的厚度的比值为1：1.6-2.4。

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