中船鹏力(南京)超低温技术有限公司管承红获国家专利权
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龙图腾网获悉中船鹏力(南京)超低温技术有限公司申请的专利一种烘烤型超高真空低温真空泵及控制方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119801874B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-08发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411878210.0,技术领域涉及:F04B37/14;该发明授权一种烘烤型超高真空低温真空泵及控制方法是由管承红;杨晨;卢政阳;陈杰;李艳锋;李奥设计研发完成,并于2024-12-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种烘烤型超高真空低温真空泵及控制方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种烘烤型超高真空低温真空泵及控制方法,该真空泵包括真空罩、防辐射屏、挡板和冷凝板组;还包括加热器、罩体温度传感器、抽空阀;制冷机设有均伸入罩体内部、相连通的一级制冷段和二级制冷段;一级、二级制冷段分别设有一级、二级温度传感器;加热器、罩体温度传感器、抽空阀、制冷机、一级及二级温度传感器分别与控制器连接。本发明通过控制器自动对真空罩加热,其内壁面受热除气,过程中制冷机受热辐射影响温度升高,此时控制制冷机启动降低温度,并保持在一定范围内,在泵内部真空降低至某一压力值以下时停止加热并且制冷机开始降温至工作温度。该结构及控制方法减少了降温阶段前的预抽空处理时间,并实现10‑9托以下的超高真空状态。
本发明授权一种烘烤型超高真空低温真空泵及控制方法在权利要求书中公布了:1.一种烘烤型超高真空低温真空泵的控制方法,其特征在于, 所述烘烤型超高真空低温真空泵,包括真空罩20及容纳于真空罩20内的防辐射屏41、挡板42和冷凝板组43;所述挡板42覆盖于防辐射屏41顶部,防辐射屏41与挡板42合围形成防辐射屏空腔;所述冷凝板组43容纳于防辐射屏空腔36内;所述冷凝板组43与制冷机10连接;还包括用于对真空罩20加热的加热器23、用于检测真空罩20温度的罩体温度传感器24、与真空罩20内腔连通用于抽取真空罩20内气体的抽空阀25;所述制冷机10设有相连通的一级制冷段12和二级制冷段13;所述一级制冷段12与二级制冷段13均伸入真空罩20内部,一级制冷段12与防辐射屏41连接,二级制冷段13与冷凝板组43连接;所述一级制冷段12上布置有一级温度传感器15,二级制冷段13上布置有二级温度传感器16;所述加热器23、罩体温度传感器24、抽空阀25、制冷机10、一级温度传感器15、二级温度传感器16分别与控制器30连接; 控制器控制抽空阀25开启,由连接抽空阀接口26的前级泵抽取真空罩20内的气体分子,控制器30采集到压力传感器降低至1Torr以下时开启加热器,采集罩体温度传感器24的温度值T,并根据该温度值T控制加热器23的加热功率,保持真空罩20温度稳定,真空罩20被加热温度升高后向内部辐射热量,制冷机10的一级制冷段12和二级制冷段13受热辐射温度升高,控制器30采集一级温度传感器15的温度值T1和二级温度传感器16的温度值T2,T1或者T2温度超过320K,控制器30控制制冷机10运行,降低T1和T2,保持T1和T2低于320K且不低于290K;加热并抽空一段时间后,待压力传感器27采集的压力降低至某一压力值P后,关闭加热器23,控制器30开启制冷机10降温至工作温度。
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